| 形式 | MF-501 | MF-1001 | MH-15M | ||
| 測定範圍 | 0-50mm | 0-100mm | 0-15mm | ||
| 解析度 | MCF-101使用時 | 0.01um，0.5 um，1 um切換可能 | / | ||
| TC-101使用時 | 0.01um，0.5 um，1 um，0.1um，0.05um切換可能 | ||||
| 精度（20℃） | 1um | 3um | 0.7um | ||
| 測量速度 | 500mm/sec以下 | 500mm/sec以下 | 100mm/sec以下 | ||
| 測定力 | 下方向115-165gf（約30gf 變更可能） 橫方向65-125gf | 下方向125-185gf（約30gf變更可能） 橫方向65-125gf | 上方向25gf 下方向65gf 橫方向45gf | ||
| 外部出力 | RS-232C/專用印表機輸出口 | ||||
| 本機品質 | 約460g | 約610g | 約140g | ||