全自动影像测量仪VMA系列,它是影像测量技术的高级阶段,具有高度智能化与自动化特点。其软硬件性能让坐标尺寸测量变得便捷而惬意,拥有基于机器视觉与过程控制的自动学习功能,依托数字化仪器高速而精准的微米级走位,可将测量过程的路径,对焦、选点、功能切换、人工修正、灯光匹配等操作过程自学并记忆。全自动影像测量仪可以轻松学会操作员的所有实操过程,结合其自动对焦和区域搜寻、目标锁定、边缘提取、理匹选点的模糊运算实现人工智能,可自动修正由工件差异和走位差别导致的偏移实现精确选点,具有高精度重复性。从而使操作人员从疲劳的精确目视对位,频繁选点、重复走位、功能切换等单调操作和日益繁重的待测任务中解脱出来,成百倍地提高工件批测效率,满足工业抽检与大批量检测需要。
二、产品应用领域:
本公司产品被广泛用于液晶面板、导电粒子、PCB板、TP、TFT、手机配件、精密模具、刀具、齿轮、五金产品、端子、螺丝、弹簧、电子产品、连接器、钟表、电线、冲压产品、塑胶产品、汽车配件、医疗器械、航天航空、高等院校、科研院所等领域。
三、产品优点:
1.装配上下两个可调的光源系统,不仅观测到工件轮廓,而且对于不透明的工件的表面形状也可以测量。本系统采用41路程控光源,上光源40路,可以根据不同的产品,不同的角度进行调节,多区域,多路控制,满足客户的最大需求;下光源为平行光路设计,可调节光,亮度。
2.使用冷光源系统,可以避免容易变形的工件在测量中因为热而变形所产生的误差。同时对各种颜色的零件对光的反射吸收后,对光的需要不同可通过光源的程序调节变化实现最佳效果,对测量的精度稳定起到保障作用。
3.软件具备建立多重坐标功能,工件可以随意放置。
4.测量控制:通过软件和鼠标操作,人性化设计。
5.Z向带光栅尺,通过影像测高软件,可实现平面度、翘曲度等测量功能。
四、产品规格参数:
项目 | 主要技术参数 | ||
仪器型号 | VMA-3020CNC | VMA-4030CNC | VMA-5040CNC |
测量范围(mm) | 300*200*200 | 400*300*200 | 500*400*200 |
光学尺解析度 | 0.001mm | ||
测量精度 | X.Y Axis:(2.4+L/200)μm | ||
重复精度 | 3μm | ||
伺服电机 | 200W国产伺服电机 | ||
测量软件 | YR-CNC | ||
镜头 | 0.75-4.5X高清晰度变焦倍率镜头 | ||
CCD | 43万像素高清晰彩色摄像头 | ||
放大倍率 | 34~220X | ||
表面光源 | 5环40区 | ||
轮廓底光 | 5W超大LED平行光路设计无极连续可调LED光源 | ||
传动方式 | 台湾制滚珠丝杆及导轨 | ||
操作方式 | 程序控制+摇杆 | ||
工作限重 | 35KG | ||
机器重量 | 440KG | 520KG | 600KG |
全自动光学影像测量仪VMA系列源兴非标定制五、产品部件介绍:
成像部分
1、本成像部分使用光源加导航变焦镜头加双相机组成。光源为五环四十LED表面冷光源,轮廓点光源。
2、四十区发光,可以单独点亮,也可以任意两个或多个区组合点亮,并把亮度分成255级。(备注,标配为白色,可选配RGB加白色共四色灯泡来应对特殊产品测量)。
3、下光源平行光路设计贴片式大功率LED灯。也可以255级调节亮。
4、此镜头由两部分组成,一部分为光学测量镜头,一部分为导航拍摄地图的镜头(此处用于测量工件过大,不便于定位的情况。可根据导航镜头来找到自己要测量的点)。
工作台部分
1、本工作台部分由移动平台,线性导轨,滚珠丝杆加上伺服马达驱动,金属光栅计数尺组成。
2、平台是由高强度航空铝7075材料组成,以防止机器在运行时,移动平台产生形变。
3、导轨为台湾精密级线型导轨,以保证仪器的运行精度,丝杆为C3级丝杆,以保证仪器的重复性。
4、计数尺为英国雷尼绍直线光栅,该计数尺具有零机械滞后的优异计量性能。该尺独创的光学滤波系统具有极强的抗污能力。由于计数读数头与金属刻度尺零点无接触,这样大大延长了计数尺的稳定性与寿命。
六、产品软件YR-CNC功能:
1、测量功能齐全:能直接测量12种2D元素(点、线、圆、弧、矩形、槽形、环形、开曲线、闭曲线、圆柱、圆锥、球、平面)能测量曲线的周长、面积、直径等,采用NURBS曲线拟合算法,比其他曲线拟合算法更接近真实数据可以通过影像测量三维元素。
测量方法多样,共有自动寻边,分段自动寻边、鼠标屏幕直接取点、十字线取点、临近采点、对比、采尖点、轮廓采点、探针点、激光采点灯方法。
2、超强寻边算法,确保采样点精确度,及采样稳定。
3、自动像素校正,无需频繁移动,一键可自动像素校正。
4、元素构造:元素构造功能枪法,提供多种方法,平移、旋转、提取、组合、平行、垂直、镜像、对称、相交、相切构造元素,元素构造使得用户可以轻松应付一些难以测量的元素,从而提高工作效率。构造的过程为选取参与构造的元素->选择结果元素,简单明了。用图示的方式提供构造方式的选择。
5、报表功能丰富。
6、超差红色警示:如果测量结果超差,可以显示哪一个元素超差,并可以显示哪一项超差,导出的EXCEL同样可以提示哪项超差。
7、影像窗口功能丰富:可以显示视频放大倍率和比例尺, 可以做简单的距离和角度测量。
8、坐标系功能丰富
可根据实际情况建立多重坐标系,可方便自由切换各坐标系下的数据,能方便实现直角坐标系和极坐标系之间的转换,能实现各种不同坐标系的保存与呼出,能显示不同的坐标系模式。
9、坐标系功能丰富
程序的编辑与修改非常方便可方便修改程序的光源数据、运动数据、对焦数据、程序的位置、测量的高度等数据,并可用新元素替代旧有元素。
10、丰富的公差功能
提供多种尺寸和形位公差计算。并可计算二维和三维公差。例如圆度、圆柱度、直线度、平面度等形状公差,还有位置度、平行度、垂直度、倾斜度、同心度、跳动等公差。
11、自动对焦及影像三维测量功能
软件拥有高速高精度影响对焦功能,高倍下对焦重复性可达3um(标准器表面)可以通过对焦测量高度和平面度。
12、运动控制模式丰富
可通过操纵杆控制、软件运动界面控制、移动对话框控制、鼠标影像区拖动、鼠标图形区移到此处、鼠标图像区移到此处,移到元素中心等方式控制。
13、强大的标注功能
提供多种标注类型,如距离、角度、X距离、Y距离、半径、直径、弧长等标注可以在标注完成后修改位置可以自动标注用户程序运行结束后标注依然存在。
14、地图导航功能、扫描功能及轮廓跟踪功能
软件提供强大的导航功能,可以通过指定起点和终点对整个地图进行扫描,还可将外部传感器拍摄的图片导入进行导航扫描功能可以用于逆向功能,可以指定扫描的起点和终点,特殊设计的算法,可以过滤杂点,提高扫描的准确度和实用性轮廓跟踪可以对开放的或封闭的图形进行轮廓跟踪,从而得到感兴趣的轮廓。可对轮廓设定扫描点数,软件自动计算扫描间距。
七、仪器维护与保养:
1、仪器应放在清洁干燥的室内(室温20℃±5℃,湿度低于60%),避免光学零件表面污损、金属零件生锈、尘埃杂物落入运动导轨,影响仪器性能。
2、仪器使用完毕,工作面应随时擦拭干净,最好再罩上防尘套。
3、仪器的传动机构及运动导轨、应定期上润滑油,使机构运动顺畅,保持良好的使用状态。
4、工作台玻璃及油漆表面脏了,可以用中性清洁剂与清水擦拭干净。绝不能用有机溶剂擦拭油漆表面,否则,会使油漆表面失去光泽。
5、仪器LED光源使用寿命很长,但当有灯泡烧坏时,请通知厂商,由专业人员为您更换。
6、仪器精密部件,如影像系统、工作台、光学尺以及Z轴传动机构等均需精密调校,所有调节螺丝与紧固螺丝均已固定,客户请勿自行拆卸,如有问题请通知厂商解决。
7、软件已对工作台与光学尺的误差进行了精确补偿,请勿自行更改。否则,会产生错误的测量结果。
8、仪器所有电气接插件、一般不要拔下,如已拔掉,则必须按标记正确插回并拧紧螺丝。不正确的接插、轻则影响仪器功能,重则可能损坏系统。全自动光学影像测量仪VMA系列源兴非标定制
MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。主要技术参数:◆ 测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25◆ 视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴聚焦范围:25 mm◆ 视场内测量范围:0.5um~400um;◆ 视场内测量重复性(100x 物镜): 晶圆上<0.010um(1δ); 掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy :10nm (100X lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100X lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10X
optional :5X,20X,50X,100X。
u 大理石底座,高钢性铸铝立柱,保证具有高的稳定性及刚性。
u 精密V型导轨和研磨滚珠螺杆,配松 下高性能伺服马达全闭环控制,高稳定性、高精度、速度快。
u 美国TEO高分辨率600线彩色摄像机,保证拥有高品质的测量画面.
u 自动变倍镜头,改变倍率后不需要重新选取比例尺。
u 可程控三环八区LED表面冷光源、直轴轮廓冷光源,使光源对测量要求的适性更加强大。
u 精密光学尺0.0005mm。
u 自主研发功能强大的全自动3D测量软件,可全自动测量。
u 可选配英国Renishaw接触式探头或日本基恩士激测头。
硬件
1) 采用大理石底座,立柱,精密机械工作台面,稳定性好,结构刚性强;
2) 三层工作台结构,增强机械稳定性,保证X、Y水平运动精度;
3) 工作台X、Y向垂直度高,保证坐标测量精度,即使工件没有摆正也可达到很高的测量精度;
4) 单轴线性补偿精度达3+L/200,非线性补偿达3+L/250;
5) LED表面光源和轮廓光,满足各种不同表面的照明要求;
6) 一体式机台支架,使操作更加方便,符合人体工学;
7) 提供12个月的超长保修期,终身维护,一经选用再无后顾之忧。
软件
ü 软件有类似EXCEL报表功能,测量数据可与EXCEL数据无缝连接。
ü 根据报表数据可以直接进行SPC数据分析,计算Ca,Cp,Cpk,Max,Min,Range,Avg,Std等关键参数。
ü 自动输出公差并能给以颜色、声音、标识报警,特别的是可进行产品实时尺寸跟踪。
ü 在影像测量行业次引入了亚像素测量功能,对测量者没有任何业要求。相对同行产品,为使用者节省至少3/5的测量
ü
ü 时间,大的提升了测量效率。
ü 可做图元复制,平移、旋转、镜像、线段延伸、剪切、两线相切弧、点圆相切线。
ü 可做垂直,水平、直径、半径,角度等标注;可测两点距离,点到线距离,线到圆距离,两圆距离,线的中心距离等;
ü 可做形位差测量,如:平行度,真圆度,直线度等;
ü 可以测量各种复杂图形包括曲线。
ü 强大的拍地图功能,可实现虚拟测量。
标准功能
Ø 可将产品拍成产品照片并以JPG的格式保存于电脑中形成产品图库。
Ø 并将保存于电脑中的照片打开并于实时的影像同一画面中进行对比。
Ø 图形可输入到AUTOCAD成为工程图。
Ø AUTOCAD标准工程图可输入实时影像中,令AUTOCAD工程图与实际工件外形重叠进行对比,从而找出工件和工程图的区别。
Ø 可输入先拍照储存的JPG图片到实时影像中与实际工件进行重叠对比。
Ø 可以在鸟瞰图中进行标注尺寸。
Ø 自定义圆;可按客户需要自定标准的圆,再以标准的圆和影像中的工件做重叠对比,从而找到工件与标准圆形之间的误差。
Ø 自定义线段;可自行定义线段的起点坐标、长度、旋转的角度,再与影像中的工件作重叠对比,从而找到工件与标准图形之间的误差。
Ø 自设客户坐标;在实时影像中的实际工件上自行设定坐标原点(0, 0),在画面上任意点标示该点的X、Y坐标位置。
Ø 坐标标注;以自设的坐标原点(0,0)为基准,标注画面上任意一点的坐标位置。
Ø 利取R角功能;为目市面上准确的平面取R角方式。
Ø 测量;可测量平面上的任何几何尺寸(角度、直径、半径、点到线的距离、两圆的偏心、两点间距等)。
Ø 绘图;可将实时影像中的实际工件外形进行描绘,形成完整的工程图。