三丰轮廓仪CV-1000技术参数
X1轴
测量范围: 50mm
分辨率: 0.2μm
测量方法:反射型光栅尺
驱动速度: 0.2, 1mm/s和手动
测量速度: 0.2, 0.5mm/s
测量方向:向后
直线度: 3.5μm/50mm , *当X轴在水平方向上
指示精度:±（3.5+2L/100）μm * L为驱动长度（mm）
Z1轴（检测器）
测量范围: 25mm
分辨率: 0.4μm
测量方法:弧形编码器
指示精度:±（3.5+I4HI/25）μm （20°C时） *H为水平位置上的测量高度（mm）
探针上／下运作:弧形运动
探针方向:向下
测力: 10 - 30mN
跟踪角度:向上：77°、向下：87°（根据表面粗糙度，使用标准单切面探针）
探针针尖半径: 25μm、硬质合金针尖
重量: 5kg
电源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz
能耗: 150W （主机）