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PT-10S10L小型真空等离子清洗机电源可选装等离子清洗器原理频率13.56MHz等离子清洗设备

PT-10S真空等离子清洗机

是利用气体高压放电，然后把气体分解成等离子体；我们日常生活中常见的

有液体，固体和气体，气体再升华就形成了等离子体，也就是物质的第四种形态，我们也称为辉

光，所以真空等离子清洗机也叫辉光等离子清洗机。

等离子清洗机的优点：

1.等离子清洗机不需要气态材料进行辅助，减少清洁成本。

2.跟自动化设备进行配套使用，可以提高清洗产能。

3.等离子清洗机是利用辉光进行清洗机，可以说是全方位的，不用担心材料表面凹凸不平，而达

不到清洁效果。

4.可以同时处理金属，塑料，半导体，氧化物，或者是高分子材料都可以处理。

5.由于等离子主要是分解掉有机污染物，所以不用担心污染或危害健康。

6.清洁过后不用打扫工作场所，保持生产环境的洁净。

7.在清洗过程当中可以改善材料表面的活性，亲水性，提高材料表面的达因值

YZD08-10C真空等离子清洗机

等离子清洗机参数：

型号：YZD08-10C

*供电电源： AC220V

*工作电流：整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)

*射频电源功率： 200-500W

*射频频率： 40KHZ（偏移量小于0.2KHz）

*频率偏移量：小于0.2KHz

*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配

*真空度： 30Pa—100Pa

*气体流量： 10—100ml/min(可调)

*过程控制： MCU自动与手动方式

清洗时间： 1-6000秒钟可调

功率大小 10%-100%可调

内腔尺寸 200mm×200mm×260mm

*外形尺寸： PT-10S型_650*520*500

*重量： 45Kg

*真空泵： 2XZ-6

*真空室温度：小于65°C

*冷却方式：强制风冷

深圳三和波达机电科技有限公司

-专攻研究院大学工厂等离子清洗装置

地址：深圳龙华大浪石观工业区鸿德工业园C栋3楼

电话：闻先生 13510901650

座机：

传真：

QQ:2850868930 邮箱2850868930@qq.com

该公司产品分类：等离子清洗机

GV10x电镜等离子清洗器，透射电镜，扫描电镜（TEM/STM）专用等离子清洗机

GV10x电镜等离子清洗器

GV10x 是由ibss Group和一个拥有专利的等离子源的发明者共同合作开发并生产的新一代专门清洗腔体的等离子清洗系统。GV10x可以在分子泵工作的真空压力状态下运行，它比以往传统方法更加有效的（10到20倍）去除碳和碳氢污染。它能够去除扫描电子显微镜(SEM)图像中的假象; 使电子显微镜长久的保持高分辨率和束流稳定性。不但能够消除扫描电子显微镜图像中的黑色扫描方框，针对聚焦离子束(FIB)和透射电子显微镜(TEM)中的碳污染同样能得到很好的控制效果。

GV10x (KF40 version)

GV10x等离子清洗器是应用于真空腔体中的原位清洗机的一个全新典范。凭借精妙的顺流工艺，GV10x等离子清洗器比第一代方法更加有效和均匀10到20倍地去除碳和碳氢污染。分子泵也可以安全地运行，而不需要中断SEM, FIB或TEM系统的软件控制。

通常GV10x等离子体清洗器使用空气或氧气产生氧的自由基来去除碳氢污染。此外，NIST （美国国家标准技术研究所）研究表明，在GV10x等离子体清洗器中运用氢气去除沉积在多层镜面和其它衬底以及氧化敏感的样品上的碳沉积方面是安全和有效的。

GV10x等离子体清洗器可以很容易地在几个不同的实验室仪器中搬迁。每个腔的清洁周期不同。与普通的等离子清洗机不同的是: 等离子体清洗工艺(经常被称为远程等离子处理)并不会产生动力冲击、溅射损伤或者对样品加热。

GV10x等离子体清洗器能迅速地清洁扫描电子显微镜腔内的样品，允许快速的假象清除，通常仅需几分钟的时间，而不需给电镜腔体放气。

ibss Group的Gentle Asher和GV10x及泵的组合拓展了等离子体清洗技术的应用，即将样品和TEM样品支撑杆在插入到电镜前进行预清洗，从而延长了电镜清洗的周期。

GV10x等离子体清洗器是一个全新的清洁腔体的典型技术。这个工艺具有更大的清洁均匀性，可以更加迅速地清除位于真空腔远角落表面上的碳污染。这些污染能不断的吸附和重新污染腔体其它部分。由于较大的功率和压力选择范围，GV10x等离子体清洗器可以被运用到除了SEM腔体之外的清洗，比如清洗同步辐射和紫外光学，临界尺寸扫描电镜 (CDSEMs)，检测性扫描电镜和X-射线光电子能谱系统，这些系统的大型腔体都需要均匀和快速的清洁。

GV10x等离子清洗器参数：

功率： 5 ~99 W 连续可调等离子功率

压力： - 2 Torr ~ <5 mTorr (measured at the Source)

压力（大于50 毫托），清洗气体的平均自由程很短，在靠近等离子源的区域去除污染。
压力（小于50 毫托），清洗气体的平均自由程比较长，能均匀的碳污染的清除。同时，清洗发生在分子泵能安全运行的压力下。

柔和：使用中性氧或氢的自由基通过非动力学过程，灰化气相的碳氢化合物和表面碳。

Gentle Asher™, GA/GV

ibss group引进电镜样品预处理腔，拓展了GV10x的应用，用以清洁送入电子显微镜腔前的样品。连接了GV10x 的预处理腔体, GA/GV, 可以极大地防止黑色扫描方框的生成。

在将电镜腔清洁到可接受的碳氢污染水平后，可以使用等离子体工艺，通过简单地将GV10x源移动到预处理腔的腔体中，达到样品清洁和储存的目的。客户的报告声称这种有效的结合以更少的损伤巧妙地去除TEM样品台和任何类型样品的污染，同时保持CDSEM、 SEM、FIB 和TEM中碳氢污染水平的易控制性。预清洁样品和样品台避免了污染电镜腔体，这样就延长了电镜清洗的周期。

该公司产品分类：玻璃碳产品大气等离子清洗机电磁系统定制坩埚耗材配件纳米压痕仪（划痕仪）台阶仪/轮廓仪表面等离子共振仪SPR 电镜腔体等离子清洗系统真空等离子表面处理系统 TEM硅框架 TEM无膜硅窗口 TEM纯硅薄膜窗口 TEM氧化硅窗口 TEM亲水性/疏水性氮化硅薄膜窗口 TEM多孔氮化硅薄膜窗口 TEM氮化硅薄膜窗口 X射线用氧化硅薄膜窗口 X射线用氮化硅薄膜窗口 X射线用薄膜窗口

PDC-32G-2 等离子清洗器（Plasma Cleaner）

● 等离子清洗技术原理及应用领域

等离子技术成功实现了干式处理，替代了传统的湿法处理技术。

等离子，即物质的第四态，是由部分电子被剥夺后的原子以及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气状物质。这种电离气体是由原子，分子，原子团，离子，电子组成。其作用在物体表面可以实现下列功能：

1. 实现物体的超洁净清洗

2.物体表面活化、蚀刻、精整

3.等离子表面涂覆

主要应用领域： 1、半导体元件、印刷线路板的清洗。 2、高分子材料表面修饰 3、生物芯片、微流控芯片的清洗 4、芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗 5、各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石的清洗。 6、光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片的清洗。 7、各种陶瓷、金属基片上的残留凝胶等杂质的清洗。 8、各种医疗器材和仪器的清洗。 9、增加复合材料、生物分子材料表面的结合力。

10. 有机材料微观低温灰化、煤的低温灰化

北京燕京电子有限公司代理的Harrick Plasma等离子清洗器是专业用于表面清洗、表面处理和表面分子重组的环保型设备。它具有设计精巧、成本低廉、功能等优点；广泛应用于金属、陶瓷、复合材料、塑料、聚合物和生物材料的表面处理。

主要特点：

1. 台式设计，结构紧凑精致

2. 低、中、高三档可调节功率

3. 设备辐射小，安全环保

4. 功能、能够满足客户不同的研究需要

技术参数	基本型- PDC-32G-2 等离子清洗器
外形尺寸	8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）
输入电源	220 V／50Hz
输入功率	100 W
重量	6.0kg
常用工作气体	空气、氩气、氮气或混合气体等
功率档	低档	680V DC、10mA DC、6.8W
	中档	700V DC、15mA DC、10.5W
		720V DC、25mA DC、18W
基本配置	直径3英寸（76mm），长6.5英寸（165mm）的耐热玻璃舱体可拆卸舱盖最大为18W的RF线圈 1/8英寸NPT针阀 1/8英寸NPT三通阀

必配件：真空泵

选配件：气体计量混合器PlasmaFloTM

石英等离子清洗舱

石英托盘（用于放置样品）

该公司产品分类：水质分析仪/多参数水质分析仪其它基础仪表其它测量/计量仪器生物显微镜激光拉曼光谱(RAMAN) 表面阻抗蠕动泵电化学工作站、恒电位仪液体处理工作站(移液工作站) 在线测厚仪生物芯片、芯片扫描仪、芯片点样仪、芯片检测仪微波、电、磁学量的测量仪表微流控芯片等离子体表面处理仪椭偏仪锁相放大器其它动物实验仪器白光干涉测厚仪扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）紫外、紫外分光光度计、紫外可见分光光度计、UV

PDC-002 等离子清洗器（扩展型） Plasma Cleaner

扩展型：PDC-002 外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）重量： 20.0kg 输入电源：220 V／50Hz 输入功率：200 W 功率档：低档716V DC、10mA DC、7.16W 中档720V DC、15mA DC、10.15W 740V DC、40mA DC、29.6W 常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等基本配置：直径6英寸（152mm），长6.5英寸（165mm）璃舱体。含磁力锁和可视窗的铰链舱盖。最大为30W的RF线圈。 1/8英寸NPT针阀 1/8英寸NPT三通阀选配件：石英等离子清洗舱

石英托盘（用于放置样品）气体计量混合器PlasmaFloTM 周边设备：扩展型专用真空泵（PDC-VP-2）
- 主要特点
- 1、台式设计，结构紧凑精致。 2、低、中、高三档可调节功率，最大可为30W. 3、设备辐射小，安全环保。 4、CE安全认证。 5、功能，能够满足客户的不同研究需要。
- 主要应用领域： 1、半导体元件、印刷线路板的清洗。 2、高分子材料表面修饰 3、生物芯片、微流控芯片的清洗 4、芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗 5、各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石的清洗。 6、光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片的清洗。 7、各种陶瓷、金属基片上的残留凝胶等杂质的清洗。 8、各种医疗器材和仪器的清洗。 9、增加复合材料、生物分子材料表面的结合力。

该公司产品分类：水质分析仪/多参数水质分析仪其它基础仪表其它测量/计量仪器生物显微镜激光拉曼光谱(RAMAN) 表面阻抗蠕动泵电化学工作站、恒电位仪液体处理工作站(移液工作站) 在线测厚仪生物芯片、芯片扫描仪、芯片点样仪、芯片检测仪微波、电、磁学量的测量仪表微流控芯片等离子体表面处理仪椭偏仪锁相放大器其它动物实验仪器白光干涉测厚仪扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）紫外、紫外分光光度计、紫外可见分光光度计、UV

PDC-32G-2 等离子清洗器（Plasma Cleaner）

● 等离子清洗技术原理及应用领域

等离子技术成功实现了干式处理，替代了传统的湿法处理技术。

等离子，即物质的第四态，是由部分电子被剥夺后的原子以及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气状物质。这种电离气体是由原子，分子，原子团，离子，电子组成。其作用在物体表面可以实现下列功能：

1. 实现物体的超洁净清洗

2.物体表面活化、蚀刻、精整

3.等离子表面涂覆

主要应用领域： 1、半导体元件、印刷线路板的清洗。 2、高分子材料表面修饰 3、生物芯片、微流控芯片的清洗 4、芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗 5、各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石的清洗。 6、光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片的清洗。 7、各种陶瓷、金属基片上的残留凝胶等杂质的清洗。 8、各种医疗器材和仪器的清洗。 9、增加复合材料、生物分子材料表面的结合力。

10. 有机材料微观低温灰化、煤的低温灰化

北京燕京电子有限公司代理的Harrick Plasma等离子清洗器是专业用于表面清洗、表面处理和表面分子重组的环保型设备。它具有设计精巧、成本低廉、功能等优点；广泛应用于金属、陶瓷、复合材料、塑料、聚合物和生物材料的表面处理。

主要特点：

1. 台式设计，结构紧凑精致

2. 低、中、高三档可调节功率

3. 设备辐射小，安全环保

4. 功能、能够满足客户不同的研究需要

技术参数	基本型- PDC-32G-2 等离子清洗器
外形尺寸	8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）
输入电源	220 V／50Hz
输入功率	100 W
重量	6.0kg
常用工作气体	空气、氩气、氮气或混合气体等
功率档	低档	680V DC、10mA DC、6.8W
	中档	700V DC、15mA DC、10.5W
		720V DC、25mA DC、18W
基本配置	直径3英寸（76mm），长6.5英寸（165mm）的耐热玻璃舱体可拆卸舱盖最大为18W的RF线圈 1/8英寸NPT针阀 1/8英寸NPT三通阀

必配件：真空泵

选配件：气体计量混合器PlasmaFloTM

石英等离子清洗舱

石英托盘（用于放置样品）

该公司产品分类：恒流泵恒压恒流进样泵微流控

PDC-002 等离子清洗器（扩展型） Plasma Cleaner

扩展型：PDC-002 外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）重量： 20.0kg 输入电源：220 V／50Hz 输入功率：200 W 功率档：低档716V DC、10mA DC、7.16W 中档720V DC、15mA DC、10.15W 740V DC、40mA DC、29.6W 常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等基本配置：直径6英寸（152mm），长6.5英寸（165mm）璃舱体。含磁力锁和可视窗的铰链舱盖。最大为30W的RF线圈。 1/8英寸NPT针阀 1/8英寸NPT三通阀选配件：石英等离子清洗舱

石英托盘（用于放置样品）气体计量混合器PlasmaFloTM 周边设备：扩展型专用真空泵（PDC-VP-2）
- 主要特点
- 1、台式设计，结构紧凑精致。 2、低、中、高三档可调节功率，最大可为30W. 3、设备辐射小，安全环保。 4、CE安全认证。 5、功能，能够满足客户的不同研究需要。
- 主要应用领域： 1、半导体元件、印刷线路板的清洗。 2、高分子材料表面修饰 3、生物芯片、微流控芯片的清洗 4、芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗 5、各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石的清洗。 6、光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片的清洗。 7、各种陶瓷、金属基片上的残留凝胶等杂质的清洗。 8、各种医疗器材和仪器的清洗。 9、增加复合材料、生物分子材料表面的结合力。

该公司产品分类：恒流泵恒压恒流进样泵微流控

PDC—M型低温等离子清洗器

　　　　等离子清洗器专业用于表面清洗、表面处理和表面分子重组的高科技设备, http://www.meifukeji.com 数字电桥数字示波器直流电子负载函数信号发生器是一种小型化、非破坏性的超清洗设备。通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。　　等离子清洗器采用气体作为清洗介质，地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗器外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，http://www.ygsmc.com 张家港饮料设备全自动吹瓶机果粒饮料生产线三合一灌装机短时间的清洗就可以使有机污染物被地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。等离子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。它具有设计精巧、成本低廉、功能等优点；广泛应用于金属、陶瓷、复合材料、塑料、聚合物和生物材料的表面处理。一、主要应用领域：1、半导体元件、印刷线路板的清洗。2、高分子材料表面修饰3、生物芯片、微流控芯片的清洗4、芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗5、各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石的清洗。6、光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片的清洗。7、各种陶瓷、金属基片上的残留凝胶等杂质的清洗。8、各种医疗器材和仪器的清洗。9、增加复合材料、生物分子材料表面的结合力。　　等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、http://www.zhihe17.com高低温循环箱高低温测试箱高温高压蒸煮仪调温调湿箱电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。　　优点：　　1、地清除表面有机污染物。　　2、清洗快速、操作简便、使用和维护成本极低。　　3、非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害。　　4、绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。　　5、低温条件下清洗，被清洗物的温度变化微小。　　6、能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面。小型开炼机双辊机 HunterLab 滚齿机插铣床 IC卡电表纯净水生产线 BOSCH电磁阀 Brookfield 铠装热电偶WRNK 多功能血液溶浆机温度校验系统装配热电偶拉力机生产厂家射线探伤机贺德克滤芯胶囊充填机土肥仪自动化车床专用设备 FESTO传感器无线胶装机 SMC减压阀西门子电动调节阀西林瓶输液瓶轧盖机旋转压片机 EP标准品臭氧灭菌设备热电代理防爆泛光灯玉米秸秆打捆机数控自动钻床

Harrick基本型等离子清洗器

主要应用

1，表面活化改性，增加粘接牢固性及浸润性；

2，表面清洗，去除表面杂质等；

3，提供等离子环境，对于光聚合化学反应等等提供相关反应条件；

4，杀菌等其他应用。

技术参数

主要特征：台式设计，结构紧凑精致。

低、中、高三档可调节功率，最大可为18W.

设备辐射小，安全环保。

外形尺寸：8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）

重量： 6.0kg

输入电源：220 V／50Hz

输入功率：100 W

功率档：低档680V DC、10mA DC、6.8W

中档700V DC、15mA DC、10.5W

高档720V DC、25mA DC、18W

常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等

基本配置：直径3英寸，长6.5英寸的耐热玻璃舱体。

可拆卸舱盖。

最大为18W的RF线圈。

1/8英寸NPT针阀

1/8英寸NPT三通阀

选备件

选件一：气体计量混合器PlasmaFloTM

含两个标准的气体流量计(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)

适用气体：空气、氮气、氩气或混合气体

选件二：真空泵

PDC-VP-2 (220V)抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr

PDC-VPE-2 (220V)抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr

选件三：石英等离子清洗舱及托盘

等离子表面处理设备生命科学仪器表面分析仪器电子测量仪器

Harrick 扩展型等离子清洗器

主要应用

1，表面活化改性，增加粘接牢固性及浸润性；

2，表面清洗，去除表面杂质等；

3，提供等离子环境，对于光聚合化学反应等等提供相关反应条件；

4，杀菌等其他应用。

技术参数

主要特征：台式设计，结构紧凑精致。

低、中、高三档可调节功率，最大可为30W.

设备辐射小，安全环保。

外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）

重量： 20.0kg

输入电源：220 V／50Hz

输入功率：200 W

功率档：低档716V DC、10mA DC、7.16W

中档720V DC、15mA DC、10.15W

高档740V DC、40mA DC、29.6W