＊ 双向气流传感＊ 实际气体质量流量传感＊ 流速0~30sccm 到0~1000sccm＊ 需另加发热器控制及传感桥路供电电路
● 多个集中安装/O 形密封圈● 陶瓷流量管（无引气管），0-1000sccm● 塑料流量管（无引气管），0-6SLPM● 高共模压力（150psi）● 工作温度可至125˚C● 零点和满量程高稳定性
● 各种流量接口可选● 文丘里管设计● 远程安装● 激光校整CO2，N2 氩气的标定
● 的微加工技术● 低气流速度敏感-0.1sccm● 检测流量200 升/ 分钟● 快速响应，低电流损耗，高反应重复性● 激光刻蚀提供了器件的一致性● 低压力精确测量（0.001-4”水柱）