一、Thyracont品牌核心优势
德国Thyracont成立于1970年，50余年专注真空测量技术创新，以高精度、耐用性及智能化为核心竞争力。
Thryacont提供高精度的皮拉尼压阻复合真空计、皮拉尼热阴极、皮拉尼冷阴极复合真空计，精度高，满足真空炉的高精度真空度检测。
l 皮拉尼/热阴极：VSH 1000到5x10~10mbar
l 皮拉尼/冷阴极：VSM 1000到5x10~9mbar
l 压阻/皮拉尼：VSR 1200到1x 10~4mbar
l 皮拉尼：VSP1000到1x10~mbar
l 压阻规：VSC43 1400到1mbar Piezo
l 电容规：VCC200 200到1x 10mbar
真空表优势：
• 具有16bar的超压稳定性，无需超压阀，节约成本
• 响应速度快，精度高
• 防护等级最高可达IP54
• 法兰处耐温度，高达160摄氏度
• 输出信号:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet满足不同的控制系统连接
二、真空渗碳炉核心流程节点及真空计作用
真空渗碳炉的核心流程可归纳为七个关键节点，每个节点都对真空度有特定要求，真空计在其中扮演着"工艺守门人"的角色。
1. 零部件清洗与预处理阶段
技术要求：工件表面需完全清洁，无油污、水分及杂质，以避免后续污染真空系统。
真空计作用：
• 预先监测真空腔体清洁度，确保无残留污染物
• 控制干燥真空度，一般在10⁻³ Pa量级，确保工件表面水分充分蒸发
• 为后续工艺建立基准真空度，避免因初始真空不足导致渗碳层不均匀
2. 装炉与抽真空阶段
技术要求：炉内真空度需降至工艺要求范围（通常为0.1-10 Pa），且压升率需控制在特定范围内（如≤0.67 Pa/h）。
真空计作用：
• 精确监测真空泵组抽真空效率，指导抽真空时间控制
• 实时显示炉内压力变化曲线，判断真空系统密封性
• 预警可能的泄漏点，确保工艺在无氧环境下进行
• 为工艺开始提供压力达标信号，控制工艺启动时机
关键参数：极限真空度、压升率、抽真空速率、真空泵工作状态监测
3. 升温与均热阶段
技术要求：工件需均匀加热至渗碳温度（通常为900-1050℃），炉温均匀性控制在±5℃范围内。
真空计作用：
• 监测升温过程中真空度稳定性，防止因温度升高导致的气体释放造成压力波动
• 验证均热阶段各工件温度一致性，通过真空度变化间接判断炉内气体分布均匀性
• 控制升温速率与真空度变化的匹配关系，避免因升温过快导致真空系统无法及时响应
关键参数：炉内压力波动范围（一般控制在±0.26 Pa/h）、升温速率与压力变化曲线
4. 渗碳阶段
技术要求：通过脉冲式通入高纯度渗碳介质（如乙炔、丙烷等），控制渗碳压力在特定范围（如5-20 mbar），并精确控制渗碳时间。
真空计作用：
• 核心控制功能：实时监测炉内压力变化，精确控制脉冲式供气周期与流量
• 保证渗碳介质在炉内的均匀分布，避免局部压力过高或过低
• 监测渗碳过程中可能的泄漏，确保工艺在设定压力范围内进行
• 通过压力变化曲线分析渗碳速率，为工艺优化提供数据支持
关键参数：渗碳压力（通常为200-2000 Pa）、压升率（一般控制在≤0.67 Pa/h）、渗碳气体流量与压力关系
5. 扩散阶段
技术要求：调整渗碳介质比例，控制扩散压力，使碳元素在工件表面形成均匀梯度。
真空计作用：
• 精确控制扩散阶段的炉内压力，通常比渗碳阶段略高或略低
• 监测惰性气体（如氮气）充入量，确保渗碳介质比例准确
• 通过压力变化判断扩散过程的均匀性与稳定性
• 为淬火阶段准备合适的真空环境，确保工艺衔接顺畅
关键参数：扩散压力（通常比渗碳阶段高10-20%）、气体比例、压力稳定性
6. 淬火阶段
技术要求：根据淬火方式（真空油淬或真空气淬），快速冷却工件至室温，同时保持真空环境或充入特定淬火介质。
真空计作用：
• 在真空油淬中，监测油淬室真空度，确保油不会被氧化
• 在真空气淬中，监测淬火介质（如氮气）的压力，确保淬火均匀性
• 监测工件转移过程中炉内压力变化，防止空气进入导致氧化
• 控制淬火冷却速率与压力变化的匹配关系，减少工件变形
关键参数：淬火室真空度、淬火介质压力、转移过程压力波动、冷却速率与压力关系
7. 冷却与出炉阶段
技术要求：缓慢冷却工件至安全温度（通常为300-400℃），避免热应力导致的工件变形或开裂。
真空计作用：
• 监测冷却过程中真空度稳定性，防止意外泄漏导致氧化
• 验证出炉前炉内压力是否达到安全标准（通常为<10 Pa）
• 记录整个工艺过程的真空度变化曲线，为工艺质量追溯提供数据支持
• 预警冷却系统异常，如冷却速率过快或过慢导致的真空度异常波动
关键参数：冷却阶段真空度稳定性、出炉前压力值、冷却速率与压力关系
三、不同炉型结构的真空计配置方案
真空渗碳炉的结构类型直接影响其所需的真空计数量与配置方案。以下是几种常见真空渗碳炉型的真空计配置分析：
1. 单室真空渗碳炉
技术特点：结构简单，价格相对较低，但工艺灵活性有限，通常适用于小批量生产。
真空计配置：
• 核心配置：1台高精度真空计（通常为热导式或电容式真空计）
• 辅助配置：可选1台冗余真空计（用于校准与故障预警）
• 总配置数量：1-2台
监测重点：
• 主炉体真空度
• 工艺过程压力稳定性
• 炉内压力均匀性
2. 双室真空渗碳炉
技术特点：分为渗碳室与淬火室，工艺过程包括工件在两个室之间的转移，适用于中等批量生产。
真空计配置：
• 渗碳室：1台高精度真空计（监测渗碳过程压力变化）
• 淬火室：1台高精度真空计（监测淬火介质压力与真空环境）
• 中间区域：1台真空计（监测工件转移通道的密封性）
• 总配置数量：3-4台
监测重点：
• 渗碳室低压环境（通常为0.1-10 Pa）的稳定性
• 淬火室高压环境（如气淬可达6 atm）的压力控制
• 工件转移通道的密封性与压力变化
3. 三室真空渗碳炉
技术特点：包含渗碳室、油淬室和气淬室三个独立空间，工艺灵活性高，可选择不同淬火方式，适用于大批量生产。
真空计配置：
• 渗碳室：1台高精度真空计（监测渗碳过程压力变化）
• 油淬室：1台高精度真空计（监测油淬环境真空度）
• 气淬室：1台高精度真空计（监测气淬介质压力）
• 转移通道：1-2台真空计（监测各通道密封性）
• 总配置数量：4-6台
监测重点：
• 多室独立真空环境的精确控制
• 工件在不同室间转移时的密封性与压力稳定性
• 多种淬火方式（油淬/气淬）的灵活切换与压力控制
4. 离子渗碳炉
技术特点：在真空环境中利用辉光放电使渗碳气体电离，产生的碳离子在电场作用下轰击工件表面实现渗碳，具有渗碳速度快、表面质量高等特点。
真空计配置：
• 主炉体：1台高精度真空计（监测主真空环境）
• 电离区域：1台高精度电离真空计（监测电离过程压力）
• 控制系统：1台冗余真空计（用于校准与故障预警）
• 总配置数量：3-4台
监测重点：
• 主炉体高真空环境（通常为10⁻³ Pa量级）的稳定性
• 电离区域特定压力（通常为数百Pa）的精确控制
• 电离过程与渗碳过程的压力协调与转换
5. 连续式推杆真空渗碳炉
技术特点：工件通过推杆连续通过加热、渗碳、扩散和冷却四个温控区，适用于大批量连续生产。
真空计配置：
• 进料端：1台高精度真空计（监测进料区域密封性）
• 加热区：1台高精度真空计（监测升温过程压力稳定性）
• 渗碳区：1-2台高精度真空计（监测渗碳过程压力变化）
• 扩散区：1台高精度真空计（监测扩散阶段压力控制）
• 冷却区：1台高精度真空计（监测冷却环境真空度）
• 总配置数量：5-7台
监测重点：
• 连续工艺中各区域真空度的独立控制与协调
• 工件在不同区域转移时的密封性与压力稳定性
• 大批量连续生产中的工艺一致性保障
第12年
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