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ZEP520A乃一具有「超高解析度」、「耐乾式蝕刻」特性的非化學增幅型(斷鏈型)負型電子束光阻。
品名 | 黏度 (mPa・s) | 塗佈膜厚(nm) @2000rpm | 溶劑 | 包裝方式 |
電子束光阻 | ZEP520A | 11 | 500 | Anisole | 1QT瓶 / 100ml瓶 |
ZEP520A-7 | 7 | 300 |
品名 | 特徵 | 包裝方式 |
顯影液 | ZED-N50 | 高感度 | 加侖瓶 |
可售卖地
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型号
ZEP530A
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