ASM 390移动型氦质谱检漏仪说明书_产品说明_技术文章

德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 上市！
ASM 39X 系列是针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式真空泵和涡轮分子泵, 检漏仪 ASM 392 内置2台涡轮分子泵, 可以加速泄漏检测流程, 降低生产设备的停机时间, ASM 390, ASM 392 对氦气的快速抽空能力和较短的响应时间使其成为同类型检漏仪中的佼者！

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:

1. 强大的抽空能力

2. 短的测试时间

3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可旋转和拆卸

4. 符合人体工学设计, 移动性强

5. 符合 Semi S2 标准

上海伯东 Pfeiffer 移动型检漏仪 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比:

型号 ASM 390 ASM 392 ASM 380

检测气体 4He, 3He, H2

小检测漏率真空模式: 1X10-12 mbar l/s

吸枪式: 1X10-8 mbar l/s

对氦气的抽速 10 l/s 25 l/s, 内置2台分子泵 7 l/s

泵抽速 35 m3/h

进气口大压力 20 mbar 20 mbar 15 mbar

无校准的启动时间(20°C) 2 min 2 min < 4.5 min

进气口 DN 40 ISO-KF

响应时间 < 1 s

Interface, 选配 RS-232, I/O, Ethernet

噪音 ≤ 55 dB (A) ≤ 55 dB (A) 53 dB (A)

重量 125 kg 130 kg 110 kg

尺寸(LxWxH) 1072 x 455 x 1025 mm 1072 x 455 x 1025 mm 1065 X 455 X 1025 mm

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 应用域: 可用于半导体和平板显示器行业以及其他要求高的应用

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 目在售型号:

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ASM 390, 通用电压, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF 英文 PDF中文 PDF

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原创作者：北京爱欧德仪器设备有限公司

Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390

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