仪器特点: 计算机全数字化控制,操作简捷直观。 步进马达自动进行针尖--样品逼近,实验圆满成功。 深度陡度测量,三维显示。 纳米材料粗糙度测量、颗粒径度测量及分布统计。 X、Y二维样品移动平台,快速搜索样品区域. 标准RS232串行接口,无需任何计算机卡 样品观测范围从0.001um-20000um。 扫描速度达40000点/秒 可选配纳米刻蚀功能模块。 技术指标 :
AFM探头 样品尺寸:直径小等于30mm;厚度小等于15mm。 XY最大扫描范围:标准6X6微米 0.25nm 0.03nm(云母定标) XY二维样品移动范围:5mm;精度0.5微米 扫描器、针尖座智能识别 44-283X连续变倍彩色CCD显微观察系统(选配) AFM电化学针尖块,液电池,液体轻敲式成像功能(选配) 全金属屏蔽防震隔音箱/精密隔震平台(选购) 电子学控制器: XTZ控制 18-Bit D/A 数据采样 14-BitA/D、16 Bit A/D多路同步采样 Z向反馈 DSP数字反馈 反馈采样速率 64.0KHz 高压放大器 集成高压运算放大器,最大电压范围+/-150V 频率范围 --- 幅度范围 --- 扫描速率 21Hz 扫描角度 0-360度 扫描偏移 任意 图像采样点 256X256或512X512 步进马达控制 手动和自动进退 计算机接口 标准RS232串行/USB
Dimension Icon 系列作为布鲁克公司(Bruker AXS) 原子力显微镜的旗舰产品,凝聚了多项的专利技术,是二十多年技术创新、客户反馈和行业应用的结晶。 Dimension Icon 的出现为科学和工业界在纳米尺度的研究带来了革命性的之作。Dimension Icon 可以实现所有主要的扫描探针成像技术,其测试样品尺寸可达:直径210mm,厚度15mm。温度补偿位置传感器使Z-轴和X-Y轴的噪音分别保持在亚-埃级和埃级水平,并呈现出前所未有的高分辨率。对于大样品、90微米扫描范围的系统来说,这种噪音水平超越了所有的开环扫描高分辨率的原子力显微镜。的XYZ闭环扫描头在不损失图像质量的前提下大大提高了扫描速度。探针和样品台的开放式设计使 Icon 可胜任各种标准和非标准的实验。
XY驱动分辨率:24位控制,0.06Am;
Z驱动分辨率:24位控制,0.006Am;
微弱的相干激光器:658nm波长,功率小于1mw。
升缩台的结构(专利技术)
有专利的伸缩放大台阶且低噪音的,三轴独立,原子台阶及分子分辨率,直到100µm扫描,
扫描分辨率X-Y:0.06nm,Z:0.006nm, 不像压电陶瓷管那样易碎而且伸缩有弓效果。
智能化AFM
a. 低噪声低功耗相干激光器
b.低噪音控制器(低电压驱动压电扫描器)
c.24位DAC控制(精密控制
d.最大100µm扫描(Z方向9µM )
e.高分辨率的大范围扫描器
低噪音激光器和控制器+24位控制+伸缩台阶(专利技术)=完整的低噪音回路=一体式扫描器。大范围扫描,高分辨率,且无需更换扫描器。
自动设置和自动开关
1.自动调谐集成锁相(AC和单通KFM模式)
2.自动设置电子系统(无需使用者连接电缆或模块)
3.顶部和侧面视图(探针-样品趋近简单- >不会撞针)
4.直观的软件和预先配置的AFM模式
配置齐全AFM
易于使用(顶部和侧面的视图,直观的软件,触摸屏控制)
高达100µm范围扫描(Z方向9µM)
高分辨率
集成锁相(高灵敏度)
24位控制
多模式
接触/摩擦&振荡模式/相位
Conductive AFM(导电AFM)
PFM (压电响应)
MFM/EFM(磁力/静电力)
力调制
适用于不同环境的真实设计
EZ温度 : 温度控制,可达200°
对于压电器件可以进行更稳定的加热分离(不漂移)
与大气控制、液体模式和所有电模式(KFM,CAFM, ResiScope…) 相兼容
大气控制(气体和湿度)
光电探测器和激光器在箱体外部(湿度控制不会造成电子件损害)
光电探测器和激光器可以正常对齐(不在一个盒子里解决- >没有盒子)
容易和快速设置
与电气测量模式是最佳的兼容(KFM, ResiScope…)
EZ液体:液体测量
压电保护
激光容易对准(可以利用顶部视频在空气中对准激光)
非常稳定的“振荡模式”的决方案
易于使用且更成功的原子力显微镜测量!
热测量
局部加热(探针)
或热测量
最佳的电气模块
HD-KFM :
在市场上有最好的分辨率和灵敏度(更好的算法,根据不同样品有两种模式,更好的锁相灵敏度…)
易用使用(自动调用智能算法,无需经验)
ResiScope :
10个数量级-从100Ω~1TΩ之间(竞争者最多只覆盖了7个数量级)
较低的电流流经探针/样品(不会局部氧化,不会因为高电流损害探针/样品)
同时兼容AC模式成像和EFM/MFM 模式或者HD-KFM 模式,且不会任何变动或丢失样品的位置!
Soft-ResiScope :
跟ResiScope一样,仍然有10个数量级,允许软性样品成像成像和电阻/电流测量。
CSI原子力显微镜应用领域
物理实验室:材料,高分子聚合物,电气特性,磁场,压电领域…
化学实验室:分子电子或组织。太阳能电池,电池,聚合物,电化学
半导体:研究和研发
多用途用户如:化学实验室+生物实验室
更多产品 www.labandmore.com
探针品牌
www.nanoworld.com
产品描述
全世界使用最广泛的、口碑最好的SPM、AFM探针,可适用于所有的市售SPM和AFM设备。 本包装为单组10个的高品质湿法刻蚀的硅探针,可用于轻敲模式™ ,动态模式和其他非接触模式检测。 所有的探针均为行业标准的硅SPM和AFM探针,可用于高灵敏度和高分辨率成像适用于各种样品类型的轻敲模式、动态模式或空气中的非接触模式检测。
Pointprobe®系列的所有SPM和AFM探针都是由高掺杂的硅片制成 。这种探针材料可以消散静电,并具有化学惰性,还可提供高灵敏 度的高机械Q因子。
该探针提供了以下特性:- 针尖曲率半径 < 8 nm- 高掺杂消散静电荷- 悬臂背面镀铝- 高机械品质因数确保高灵敏度
探针镀层
悬臂背面镀铝
探针参数
针尖:
shape:Rotated(symmetric) height:10 - 15 µm radius:8nm
悬臂梁:
shape:rectangular
length:125 µm (115 - 135 µm)*
width:28 µm (30 - 42 µm)*
thickness:4 µm (3.5 - 4.5 µm)*
force constant:40 N/m (20 - 80 N/m)*
resonance frequency:300 kHz (200 - 400 kHz)*
原子力显微镜
晶体扫描仪(Crystal Scanner TM)是美国PNI公司开发的一种新颖的扫描仪。使用该扫描仪,无需知道更多扫描探针显微学(SPM)知识的人士便可获得纳米范围的形貌像。晶体扫描仪的核心是一种新型的无需复杂光路调整(Alignment)过程的力传感器。它能够进行纳米结构的成像和分析。 使用装有晶体扫描仪的Nano-R TM原子力显微镜(AFM),工程师和科学工作者无需等候获得扫描的纳米结构图像,而是直接测量物体的形貌像。公司和研究机构也不用雇佣AFM专家,这样可为纳米技术的研究、发展和工艺控制节省大量的成本。 晶体扫描仪在纳米牛顿力测量领域内注入了新的设计理念。将该扫描仪与Nano-R TM型AFM的测试台和软件相结合,便可以得到一个新的用户友好接口的纳米成像仪器。尤其是,当配合点和扫描(Point & Scan TM)技术,将大大简化仪器的操作过程。
原子力显微镜
点和扫描技术 点和扫描技术大大减少了传统系统软件的复杂性,只要按照屏幕上的操作提示便可完成测试。几步操作后,实验人员便可以在计算机屏幕上看到图像。 点和扫描技术使用标准的纳米成像操作步骤。步骤如下:
选择样品类型;
将样品放置于显微镜下;
如有必要,更换晶体传感器(只需几分钟);
选择要扫描的样品区域;
成像操作。
上述的纳米成像过程同样可以分析DVD和半导体器件结构以及对纳米管、纳米粒子和纳米晶体进行高分辨的纳米成像。 点和扫描技术包括3个方面的创新性:晶体传感器,测试台的自动化和软件。
晶体传感器
晶体扫描仪里的力传感器是一种非常小的晶体振荡器,在其晶体的末端装有针尖,如图1和2所示。当探针靠近样品表面时,其振荡的振幅将衰减。衰减的幅度取决于探针和样品之间的作用力。扫描时,使用软件可以优化振荡频率和力的大小。使用时,晶体传感器无需任何力的调整。
图1晶体扫描仪中的石英交叉晶体 图2晶体传感器安装在零插入力模块上
的测试台自动化大大简化了装有晶体传感器的Nano-R TM型AFM的操作过程。结合马达驱动的光学系统、样品定位和探针-样品控制,无需任何手动调整。因此,便可以实现“放置样品-设定扫描区域-开始扫描”的简单操作过程。
晶体扫描软件
晶体扫描软件(CSS)大大简化了晶体扫描仪的操作。安装CSS后,实验人员便可以从窗口菜单上选择需要成像的样品类型。有关样品类型的信息可存储在计算机内,需要时可调用。例如,CSS可以使用设置的扫描参数。CSS与测试台自动化的相结合是一个强有力的工具。举例来说,当运行CSS时,样品台会自动移动到样品适于成像的位置。CSS也可以将样品进一步设置成适于视频光学记录的位置。 实验人员必须更换样品和探针。为了简化操作过程,几个视频系统集成于CSS中。这些配置有利于示意如何更换探针以及放置样品到成像的位置。软件接口如图3所示。 图3软件接口
CSS软件的算法可用来判断探针的成像质量和优化扫描参数。对某些特殊的样品,这些算法的运用可设计成样品信息文件。
的扫描仪设计 使用移动探针的弯曲压电扫描仪设计可确保精确测量。这样,在x-y-z轴和图像间可测量最小的色度亮度干扰,以表明没有背底弯曲。 外置的x、y、z轴校准传感器可监视弯曲扫描仪的动作。这种传感器在x、y、z轴线性化和校准扫描仪显得非常必要。这些传感器对于点和位置测量也很有必要,对于图像中某个特殊形貌的放大应用也显得非常必要。晶体扫描仪的技术参数如表1。 表1? 晶体扫描仪的技术参数
范围 | 线性度 | 干扰 | 噪声 | |||
X-Y | 65 微米 | X-Y-Z | < 1% | XY | < 1% | Vertical < 0.1 nm |
Z | 8 微米 | ZX | < 2% | |||
ZY | < 2% |
与光杠杆传感器的切换 常规的AFM使用光杠杆(Light Lever)来测量探针与样品之间的作用力。尽管光杠杆机构较为复杂且需要调光路,但也有一些优点。其主要优点是:可以进行材料敏感模式的测量,如侧向力或摩擦力像和相位移成像;另外,还可进行磁力和静电力成像。 Nano-R TM型AFM测试台可与光杠杆传感器兼容。只需几分钟便可切换光杠杆传感器和晶体传感器。切换安装后,光杠杆式AFM便可以进行接触或振荡模式的形貌像测量。
应用 使用晶体扫描仪的Nano-R TM型AFM可测量各种样品如工业样品和需要高分辨成像的纳米结构的形貌像。工业样品包括DVD、显微镜头、纸张、光栅和图形化的芯片。高分辨成像的纳米结构包括晶粒、纳米粒子、纳米晶体和纳米管。图4示出了一些使用晶体扫描仪的AFM形貌像。
原子力显微镜
晶体扫描仪(Crystal Scanner TM)是美国PNI公司开发的一种新颖的扫描仪。使用该扫描仪,无需知道更多扫描探针显微学(SPM)知识的人士便可获得纳米范围的形貌像。晶体扫描仪的核心是一种新型的无需复杂光路调整(Alignment)过程的力传感器。它能够进行纳米结构的成像和分析。 使用装有晶体扫描仪的Nano-R TM原子力显微镜(AFM),工程师和科学工作者无需等候获得扫描的纳米结构图像,而是直接测量物体的形貌像。公司和研究机构也不用雇佣AFM专家,这样可为纳米技术的研究、发展和工艺控制节省大量的成本。 晶体扫描仪在纳米牛顿力测量领域内注入了新的设计理念。将该扫描仪与Nano-R TM型AFM的测试台和软件相结合,便可以得到一个新的用户友好接口的纳米成像仪器。尤其是,当配合点和扫描(Point & Scan TM)技术,将大大简化仪器的操作过程。
原子力显微镜
点和扫描技术 点和扫描技术大大减少了传统系统软件的复杂性,只要按照屏幕上的操作提示便可完成测试。几步操作后,实验人员便可以在计算机屏幕上看到图像。 点和扫描技术使用标准的纳米成像操作步骤。步骤如下:
选择样品类型;
将样品放置于显微镜下;
如有必要,更换晶体传感器(只需几分钟);
选择要扫描的样品区域;
成像操作。
上述的纳米成像过程同样可以分析DVD和半导体器件结构以及对纳米管、纳米粒子和纳米晶体进行高分辨的纳米成像。 点和扫描技术包括3个方面的创新性:晶体传感器,测试台的自动化和软件。
晶体传感器
晶体扫描仪里的力传感器是一种非常小的晶体振荡器,在其晶体的末端装有针尖,如图1和2所示。当探针靠近样品表面时,其振荡的振幅将衰减。衰减的幅度取决于探针和样品之间的作用力。扫描时,使用软件可以优化振荡频率和力的大小。使用时,晶体传感器无需任何力的调整。
图1晶体扫描仪中的石英交叉晶体 图2晶体传感器安装在零插入力模块上
的测试台自动化大大简化了装有晶体传感器的Nano-R TM型AFM的操作过程。结合马达驱动的光学系统、样品定位和探针-样品控制,无需任何手动调整。因此,便可以实现“放置样品-设定扫描区域-开始扫描”的简单操作过程。
晶体扫描软件
晶体扫描软件(CSS)大大简化了晶体扫描仪的操作。安装CSS后,实验人员便可以从窗口菜单上选择需要成像的样品类型。有关样品类型的信息可存储在计算机内,需要时可调用。例如,CSS可以使用设置的扫描参数。CSS与测试台自动化的相结合是一个强有力的工具。举例来说,当运行CSS时,样品台会自动移动到样品适于成像的位置。CSS也可以将样品进一步设置成适于视频光学记录的位置。 实验人员必须更换样品和探针。为了简化操作过程,几个视频系统集成于CSS中。这些配置有利于示意如何更换探针以及放置样品到成像的位置。软件接口如图3所示。 图3软件接口
CSS软件的算法可用来判断探针的成像质量和优化扫描参数。对某些特殊的样品,这些算法的运用可设计成样品信息文件。
的扫描仪设计 使用移动探针的弯曲压电扫描仪设计可确保精确测量。这样,在x-y-z轴和图像间可测量最小的色度亮度干扰,以表明没有背底弯曲。 外置的x、y、z轴校准传感器可监视弯曲扫描仪的动作。这种传感器在x、y、z轴线性化和校准扫描仪显得非常必要。这些传感器对于点和位置测量也很有必要,对于图像中某个特殊形貌的放大应用也显得非常必要。晶体扫描仪的技术参数如表1。 表1? 晶体扫描仪的技术参数
范围 | 线性度 | 干扰 | 噪声 | |||
X-Y | 65 微米 | X-Y-Z | < 1% | XY | < 1% | Vertical < 0.1 nm |
Z | 8 微米 | ZX | < 2% | |||
ZY | < 2% |
与光杠杆传感器的切换 常规的AFM使用光杠杆(Light Lever)来测量探针与样品之间的作用力。尽管光杠杆机构较为复杂且需要调光路,但也有一些优点。其主要优点是:可以进行材料敏感模式的测量,如侧向力或摩擦力像和相位移成像;另外,还可进行磁力和静电力成像。 Nano-R TM型AFM测试台可与光杠杆传感器兼容。只需几分钟便可切换光杠杆传感器和晶体传感器。切换安装后,光杠杆式AFM便可以进行接触或振荡模式的形貌像测量。
应用 使用晶体扫描仪的Nano-R TM型AFM可测量各种样品如工业样品和需要高分辨成像的纳米结构的形貌像。工业样品包括DVD、显微镜头、纸张、光栅和图形化的芯片。高分辨成像的纳米结构包括晶粒、纳米粒子、纳米晶体和纳米管。图4示出了一些使用晶体扫描仪的AFM形貌像。
· 的信号读录与输入功能便于用户自己设计研究方法