全世界认可的标准漏孔--氦质谱检漏仪用
上海睿米仪器仪表有限公司专注于国外高性能检漏仪、真空泵、真空系统、配套耗材销售、维护、租赁;以及真空系统设计、高速检漏系统设计的高科技公司。公司主要员工有多年欧美工作和管理背景。睿米为航天航空,军工、电子、半导体、医药、汽车、空调等众多领域提供高端服务,用户包括高校、研究所、国家重点实验室、国内外的知名厂家等。
帮助你的公司走向世界,帮助世界认可你的公司!睿米提供经过美国国家标准与技术研究院(National Institute of Standards and Technology,NIST)检测,标定,并颁发标物证书的氦质谱检漏仪用的标准漏孔(氦),及其他一些气体的标准物,例如,六氟化硫,氢气,空气,二氧化碳等。NIST成立于1901年,从事物理、生物和工程方面的基础和应用研究,以及测量技术和测试方法方面的研究,提供标准、标准参考数据及有关服务,在国际上享有很高的声誉。NIST颁发证书的标准物品,广泛应用于全世界各个国家,涉及生产、制作、检测、研究等众多领域,并得到认可。
睿米提供NIST认证的氦质谱检漏仪用的外置标准漏孔,及部分内置标准漏孔,同时可以定做不同需要的氦标准漏孔。根据不同的应用场合,标漏根据充气的方式分为,开放式的,可以充气的,不可充气的,及定制的特殊标漏。漏率从mbar.l/s
提供标漏的公司是经过ISO 17025 和 AL2A进行认证。所有漏孔提供均提供最高等级NIST(高于各个厂家仅提供厂家证书)。
当前氦质谱检漏仪厂家,提供的内置标漏或外置标漏,基本都是厂家自己制作的,没有经过任何标准认证机构进行检定、认证。如果需要检定,并提供相关证书,例如NIST的标定,是需要额外增加一笔不小的费用。睿米提供的标准漏孔,都是经过NIST认证的,是公认的标准漏孔。常用的标准漏孔包括内置标准漏孔、外置标准漏孔、吸枪漏孔(sniffer漏孔)及其他一些特殊的漏孔产品。
内置标准漏孔:睿米提供的内置标准漏孔,可以替代当前主流的各个品牌检漏仪的内置漏孔,例如:INFICON(英福康)、Leybold(莱宝)、Pfeiffer/Adixen(普发/阿尔卡特),Agilent/Varian(安捷伦/瓦里安), ULVAC(爱发科),Veeco等品牌,旗下的各个型号的内置漏孔。睿米提供带NIST证书的标准漏孔。
外置标准漏孔:睿米提供的外置标准漏孔,需要选定与使用的氦质谱检漏仪或其他真空设备相匹配的接口,常用漏率在10-4mbar.l/s 到10-7mbar.l/s之间可选。如果有特殊要求,可以协商、定制。睿米提供带NIST证书的标准漏孔。
吸枪漏孔(sniffer漏孔):常用漏率在10-4mbar.l/s 到10-6mbar.l/s。如果有特殊要求,也可以定做。睿米提供带NIST证书的标准漏孔。
睿米经营范围:
1. 进口检漏仪:Pfeiffer/Adixen(普发)、Inficon(英福康)、Leybold(莱宝)
2. 气体标准误(Standard Error)产品:包括氦气标定漏孔(校准漏孔、标准漏孔),其他气体标准误产品
睿米可以为国际国内所有的氦质谱检漏仪提供美国国家标准局(NIST)标定的标准漏孔,包括:
A)内置标准漏孔
B)外置标准漏孔
C)吸枪漏孔(sniffer漏孔)
所有漏孔提供均提供最高等级NIST A2LA证书(高于各个厂家仅提供厂家证书)。
漏率可以定制E-2~E-12mbar.l/s各种漏率以及各种接口
支持INFICON(英福康)、Leybold(莱宝)、Pfeiffer/Adixen(普发/阿尔卡特),Agilent/Varian(安捷伦/瓦里安), ULVAC(爱发科),Veeco等。
睿米的气体标准误产品还可以提供各种气体产品(SF6,氢气、空气、二氧化碳等)。
睿米还可以提供开放式标准误产品(连接在线气瓶)以及根据客户要求提供定制产品(用于工业、实验室、研究院所产品集成)。
3. 真空泵、分子泵:Pfeiffer/Adixen(普发),Leybold(莱宝)、Edwards(爱德华)
4. 真空备件:包括各种油泵、干泵维修包;分子泵轴承;真空泵油;分子泵润滑脂、分子泵油、各种关键零部件、电路板
5. 维修服务:检漏仪/真空泵/分子泵(普发/阿尔卡特、爱德华、EBARA、希赫、莱宝、英福康)。提供电子电路级别维修,高于原厂维修品质的服务,减少客户等待时间,节省客户成本。
6. 备机服务:我们提供真空泵、检漏仪备机服务,满足客户紧急需求。
7. 真空检漏服务、系统设计。睿米提供专业的真空设备以及检漏服务,以及丰富经验的检漏专家,可以为客户提供现场大型管路、真空腔体,小至元器件的检漏服务以及方案设计。
氦质谱检漏仪特点和优点
l 核心部件—分子泵,采用原装进口检漏仪专用的分子泵。
l 美国AD放大器,有效降低了检漏仪本身的噪音,提高了检漏仪的灵敏度。
l 180度非均匀磁场的质谱室设计,对焦准确,灵敏度高。
l 检漏口耐压高,可检漏率量程宽,大漏小漏全可检。
l 离子源灯丝采用氧化钇铱金灯丝,寿命长、灵敏度高。
l 检漏状态下独特的三屏切换,信息更丰富,检漏更方便。
l 具有快速清氦功能和快速响应功能。检漏状态一键清零。
l 全自动液晶触摸彩屏显示,实现了智能自动化,操作方便、简单可靠。
l 中英文菜单。
BW-930型氦质谱检漏仪 | |
主要技术指标: 1. 最小可检漏率:8×10-13Pa·m3/s 2. 漏率显示范围:1×10-3—1×10-13Pa·m3/s 3. 启动时间:≤3min 4. 响应时间:≤1.0s 5. 检漏口的最高压力:1000Pa 6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A 7. 机械泵抽速:4L/S 8. 工作环境:5-35℃ 9. 相对湿度:≤80% 10. 外形尺寸:600(W)×560(D)×1000(H) 11. 重量:65kg | 主要配置:
1. 进口分子泵 2. 莱宝机械泵 3. 内置标准漏孔 4. 定制电磁阀 5. 美国AD放大器 6. 采用质谱专用模块 7. 触摸彩屏显示
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氦质谱检漏仪 型号:M2062 | |
这是在61mZQJ-230型基础上用电磁阀体代售侗族和阀而发展的一个型号。电磁组合阀及其控制系统可以预置预抽到检漏的转换压力值,在真空度到达设定值时,自动转换到检漏状态,故只需交替操作“检漏-放气”和“放气”两个键,便可实现检漏过程的自动化,避免了手动操作中可能出现的误操作。此外,还有延长与抽时间的控制和检漏过程中防止试件真空变差的自动保护等功能 产品参数 最小可检漏率(对He): 〈=5*10-11Pa.m3/s 漏率显示范围:2*10-11---9.8*10-5Pa.m3/s 响应时间:〈=4s 启动时间:<=8min 允许检漏口的压力:20Pa 电源要求:220V,50Hz,单相,10A 工作环境:5-35摄氏度 相对湿度<=80% 外形尺寸:540(W)*500(D)*950(H)mm 产品介绍 61MZQJ-230D型氦质谱检漏仪采用逆扩散检漏,所以能在较高压力下开始检漏。仪器本身的高真空系统采用了涡轮分子泵和机械泵组成的排气系统,启动快。它采用电动组合阀完成检漏的全过程操作(预抽、检漏和放气)。用50个发光条和相应的数字量程指数显示漏率。ZQJ-230D既可抽空检漏,亦能吸枪检漏 | 产品图片 ![]() |
主要配置:
1.进口复合型分子泵
2.优成机械泵
3.配置标准漏口
4.专业放大器
5.采用质谱专用模块
主要技术指标:
最小可检漏率:6×10-13Pa·m3/s
漏率显示范围:9.8×10-5—3×10-13Pa·m3/s
启动时间:≤5min
响应时间:≤1.5s
检漏口的压力:2000Pa
电源要求:220v,50Hz,单相,10A
工作环境:5-35℃
相对湿度:≤80%
外形尺寸:580(w)×390(D)×320(H)
重量:42kg
特点及优点:
●采用检漏仪定制分子泵,能极大地提高对氦气的感应速度,改善氦本底的清除时间,阻断氦气对质谱室的污染。
●全自动液晶触摸彩屏显示,实现了智能自动化,操作方便、简单。
●离子源灯丝,采用氧化钇铱金灯丝,使离子源寿命更长、灵敏度更高。采用这一技术是我国目前生产检漏仪的一家,达到国际水平。
●电磁阀采用专门设计,检漏仪专用,更科学、更。
●180度磁场的质谱室设计,最大限度提高检漏仪的效果和反应时间。
●电气部件采用一块式设计,使维护更方便,信号干扰更少,检漏效果更好。
●放大器采用本公司自主研发,降低了检漏仪本身的噪音,提高了检漏仪的灵敏度和检漏效果。
●产品具有快速清除本底的功能。在一般检漏情况下,本仪器不需要按下调零键,就能快速清除氦本底信号,这一技术在国内是首创。
名称:氦质谱检漏仪 型号:RBLD201 仪器资料: 适用于大多数测试系统的配置, RBLD系列在大多数常用测试条件下都可提供快速和高重复性的结果。可配置于粗检和精检模式,在每个模式中宽的灵敏度范围可使用灵活的测试技术。的线性特性可在不同的漏率要求下对各部件每个漏点进行无需再校准的检漏。
RBLD系列具备完善的系统监测和本机诊断功能。仪器精细地监测与控制运行过程中的关键参数。诊断码自动提示,提供的诊断码结合用户手册便于进行故障查找。独特的涡轮分子泵和及其电子学单元最长的在机运行时间。简单与牢固的双流式涡轮分子泵提供转子位置无比的高稳定性和抗震性,大大地延长了涡轮泵的使用寿命。
操作方式:触摸屏中文界面
外形尺寸:RBLD201:46x87x61/RBLD301:67x32x60 (宽 x高 x 深) 厘米
质谱仪:180° 磁偏转
灯丝:2根敷氧化钇的铱阴极
真空连接:DN 16 KF / DN 25 KF
电源电压:AC220V(±10%)
频率:50/60 Hz
功率:RBLD201:<800W/RBLD301:<500W
最大进气口压强:粗检模式:1500Pa/低灵敏度 (纯逆向气流):100Pa/高灵敏度(顺流检漏):30Pa
预热时间:≤ 3分钟
可检气体:He2 He3 He4
最小可检漏率: 低灵敏度(纯逆向气流):2.0×10-09 Pam3/s;灵敏度(顺流检漏):2.0×10-11 Pam3/s
测量范围:2.0×10-11 Pam3/s-------2.0×10-02 Pam3/s
响应时间 (至讯号的63%) :<1秒
主要配置
氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
二 系统配置: ASM142氦质谱检漏仪主要包括以下器件:
序号 | 设备名称 | 序列号 | 数量 |
1 | ASM142氦质谱检漏仪主机(包括一台机械泵、一台分子泵、一个质谱室、信号放大器等仪器必须的部件。) | T0R00000B810 | 一套 |
2 | ALCATEL 200号油(1升/桶) | 068694 | 1桶 |
3 | 灯丝 FILAMENT | 053146 | 1备1用 |
三 技术规格:
| 灵敏度: | 5.0×10-12mbar.l/s |
| 漏率显示范围: | 5 ×10-12 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He) |
| 达到检漏的时间(空盒时): | 小于30秒 |
| 发射电流显示: | 0.2—2mA |
| 检漏口对氦气的抽速: | 1.3升/秒 |
| 启动时间: | 小于3分钟 |
| 接口尺寸: | DN 25 KF |
| 外观尺寸: | 510´343´428mm |
| 重量: | 56Kg |
| 电源: | 220V 50Hz 单相 |
| 符合美国真空标准AVS2.1 以及国际标准ISO3530的标准。内置式标准漏孔,带自动温度补偿系统。开机3分钟后完成全部准备工作。数显工作界面;数字显示漏率,带音频报警。所有工作参数可以通过菜单设定和修改。可以设置报废点。质谱室自动保护:有效防止大气突然冲入对灯丝及质谱室的损害。 |