SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱概述
SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱特点
Ø 在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
Ø 全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
Ø 采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
Ø 强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到最佳温度控制精度。
SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱技术参数
SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱主要技术指标
Ø 无尘等级:Class 100;
Ø 温度均匀度:±2℃;
Ø 温度波动度:±0.5℃(空载);
Ø 温控精度:±0.1℃;
Ø 进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;
Ø 排风口: φ3”排风管(外接φ5"法兰);
关键词:
SECS/GEM通讯无尘烘箱 无尘烤箱
上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统,HMDS烤箱,洁净烤箱,无氧烤箱,无尘无氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能、航空航天等行业;多年来,公司以“真挚的服务、的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务!
主要业务项目有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,无氧化烘箱,真空无氧烤箱,氮气烘箱,洁净烤箱,无氧烤箱,无尘无氧固化烤箱,高精度加热台,精密恒温热板,LED烤箱,PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱,半导体工艺设备。黑蒜加工设备,黑蒜发酵设备,超低温试验箱,超低温冲击试验箱,-150度高低温试验箱,恒温恒湿试验箱,真空烘箱,热风真空烤箱,环境检测仪器,实验室研究仪器,橡塑检测仪器,电缆检测仪器设备等。