半导体微纳线路刻蚀金属镀膜掩膜板光刻加工
平台拥有光刻设备、薄膜沉积设备、刻蚀设备、表征测试设备、器件后道封装设备以及自主研发的超滑实验设备等共计200余台套,其中主要设备40余台。基于已有设备,对外提供工艺整合、共同工艺开发等技术服务。 更多详细微纳加工外协|光电器件|MEMS|干法刻蚀|离子束|紫外光刻|电镀
如,微/纳制造与微/纳测量技术现已广泛的应用于信息业、工业制造、生物与医疗科学、航空航天及环境科学等各个域,对于军用和民用各个域的发展起着举足轻重的作用。为此,我们上线微纳加工打样验证服务,以求帮助客 更多详细MEMS器件刻蚀外协加工代工|金属\散热微结构\射频器件\惯性传感器
工艺整合及平台能力
—导电DLC膜层(超滑副,导电超硬膜层等)
—AIN/PZT薄膜工艺(压电驱动材料)
—大尺寸高定向碳材料生长和器件加工工艺
—键合 更多详细纳/微瞬态吸收光谱系统 泵浦瞬态吸收光谱测量仪
应用于材料或生物体系受光激发后纳及微量的光化学反应机理研究,例如三重态内电荷转移、能量转移等过程、有机太阳能电池器件光物理过程以及光催化、分子动力学等。 更多详细