多参数环境记录仪的传感器制作

多参数环境记录仪的传感器采用达到世界先进水平的技术制造而成，具有精度高，测量快、价格便宜等优点。下面就让我们了解一下多参数环境记录仪各种传感器的制作。温度传感器的制备，选择Pt金属材料作为温度敏感材料。由于铂是一种高熔点的贵金属材料（熔点为1769℃），用普通真空蒸发设备，很难得到较大的成膜速率，故采用直流磁控溅射设备来成膜。其工艺参数为：靶直径10mm,真空度4×10-3Pa,通氩气溅射气压为3Pa,溅射电流为10mA,溅射时间为20min,基片温度为200℃ ,溅射膜厚为300～400nm,靶材选用99.9%的铂片，溅射出的铂膜热处理后消除其内部缺陷。

湿度传感器的制备，多参数环境记录仪湿度传感器采用PI为敏感材料。当水分子被PI吸附时，吸湿后感湿薄膜的介电常数会发生响应变化，而湿敏电容元件中，C=錝 D,在S、D不变的情况下，C取决于PI为基的复合膜电容值随相对湿度的增加近似呈线性变化。这样，随着环境湿度的不同，PI薄膜吸附水分子的量不同，介电常数的改变也就不同，从而导致电容变化，由此来测定相对湿度

仪器名称：多参数环境记录仪

仪器型号：THNY-11

多参数环境记录仪 http://www.agri17.com.cn/