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高温探针台用样品加热台,加热卡盘,高精准加热,制造生产厂家

高温探针台用样品加热台,加热卡盘,高精准加热,制造生产厂家

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价格:¥电议

更新日期:2026/9/9 16:27:49

生 产 地:中国大陆

产品型号:CBJR

简单介绍:hot chuck,样品加热台
低噪声直流加热,双循环水路设计,可以在绝大多数探针台上加装,易于装卸,多种温度选择范围

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相关标签:加热卡盘,加热台,样品加热台,晶圆加热台

详细内容

hot chuck

样品加热台

特点 类型 规格

*低噪声,直流电驱动
*隔离套装实现PA级电信测试精度
*隔绝水循环保护chuck底座
*可以在绝大多数探针台上加装
*易于装卸
chuck(卡盘) 尺寸:4, 6, 8,英寸直径,1英寸厚度
Chuck 平整度:+ -10 微米
材质:不锈钢(可升级镀金/镀镍) 真空吸附固定
温度控制系统 控温范围:常温到300摄氏度
控温精度:0.1℃
温度稳定度:+- 1%

从25 ℃开始升温时间/秒:

100 ℃/1:00 150 ℃/2:30 200 ℃/3:00 300 ℃/4:30

高温配件,可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃
低温配件,可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃
控制器 尺寸:350mm长 x 300mm宽 x 150mm高
重量:20 Kg
附件:用于其他品牌探针台的安装转接口 更高温度控制精度 更高温度均匀性 水冷箱 更低电流测试用的屏蔽装置 测试屏蔽腔体

如需更多详细参数,请联系我们,我们将竭诚为您服务!
联系方式:肖先生:
加热卡盘,加热台,样品加热台,晶圆加热台

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