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联系人：向文梅
森东宝探针台
森东宝探针台配件
美国GGB探针：直流探针、射频探针
- Model 110H
- Model 40A
- Model 12C
- Model 7 and Model 7A
- Model 40M
- Model 50A
- 校准片
- Model 67A
- Integrated Balun Probes
- Multi-Contact Wedge
- Probe Cards
- Model 50
- Model 75
- Model 90
- Model 120
- Model 140
- Model 220
- Model 170
- Model 325B
- Model 500B
- Model 1100B
- Model 10 (dc to 11 GHz )
探针座
光学平台
液晶屏激光修复仪
Bias Tees
探针夹具
屏蔽箱
转接头
显微镜
气体放电与等离子体诊断仪
产品展示
深圳晶圆测试探针台，射频探针台，芯片探针台厂家优惠价出售
点击次数：1208
价格：￥电议
更新日期：2026/9/9 16:27:50
生 产 地：中国大陆
产品型号：CS-4
- 电话: 18******958
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- 交换名片后展示联系方式 → →
详细内容
| 设备名称 | 技术指标 | |
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1、探针台台体 CL-6 | • 6" 卡盘，采用中心吸附孔和3圈吸附环固定样品，分别由3个开关独立控制 • 卡盘X-Y的移动范围 6＇＇X6＇＇，移动精度：10微米 • 卡盘可以 360 度旋转，细调精度不大于 0.1 度，带有锁定旋钮 • Chuck 漏电低于 100fA ， 平坦度误差小于 5um 。 • Chuck 镀金，用于做背电,可以进行双面测试 • 卡盘台可以上下快速升降4mm，便于样品快速分离探针 • 显微镜环绕立柱旋转式设计，便于快速移动显微镜， 显微镜移动范围覆盖样品台 • 可调节显微镜在 X-Y 平面4" x 4" 范围内移动,精度1微米（此项行程升为4寸，系统不包含显微镜） | |
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2、体视显微镜 CB-M
| • 变焦： 0.8 倍 ~5 倍 ， 总放大倍率： 16 倍 ~200 倍 • 双目观察倾斜 45 度，双瞳距调节范围 52⁻⁷5mm • 显微镜在 X ， Y ， Z 轴方向的调节范围： > 50.8mm ，调节精度小于 10 微米 • 工作距离:115mm 变倍比：1:6.7 • 带 CCD 接口和 0.4X C-mount • 小分辨率2um | |
| 3、高压大电流探针座 GVDI-40 | • 磁力开关底座 • 线性，无后座力移动 • 探头接口和线缆45度连接，无需L型转接头 • X-Y-Z 方向的移动行程分别为 13mm • 精度2微米 • 调节架可进行30度以内的角度调节 • 高压大电流测试适用 | |
| 4、SHV高压夹具 | • 漏电精度低于1pA • 大电流10A,高压2kv（不能同时达到） • 2.1m线缆（铜管TubulerType）接头和客户设备配 • 50Ω阻抗，测试频率直流-100Mhz （与浙江五强晶体管特性图示仪配套使用） | |
| 5、SHV高压大电流探针 | • 电流范围0-10A • 电压范围0-2kV • 2kV时，电流需控制在10mA以内 • 电流10A时，电压不能超过5v • 漏电精度100fA | |
| 6、真空泵 VP0125
| • 可24小时连续工作 • 静音无油真空泵 7 升/分钟 • 体积小巧 （可选项） | |
| 7、屏蔽箱
| • 有效屏蔽信号干扰和漏电，提升测试精度 • 防止意外触电 | |
| 8、固定支座 | • 880*580*700mm，阻尼抗震 • 承重 300kg左右 | |
| 9、面包板 | • 1200*600*50mm • 蜂窝型板 • 孔距25mm，孔径M6 • 表面粗糙度:<2um | |
1.1 特点和用途
CS系列 探针台造型小巧，测量精度高，操作方便，符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
同类案例：清华大学材料系，厦门大学，华侨大学，南京邮电大学，成都电子科技大学，中科院半导体所，中科院苏州纳米研究院，世纪晶圆，方正微电子等数十客户。
CS探针台能够胜任的测试有：
| 序号 | 根据测试样品分类 |
| 序号 | 根据应用分类 |
| 1 | 晶圆测试 |
| 1 | 射频测试 |
| 2 |
| 2 | 高温环境测试 | |
| 3 | 功率器件测试 |
| 3 | 低电流（100fA ）测试 |
| 4 |
| 4 | ||
| 5 |
| 5 | 高压，大电流测试 | |
| 6 | 液晶面板测试 |
| 6 | 磁场环境测试 |
| 7 | 太阳能电池片测试 |
| 7 | 辐射环境测试 |
| 8 | 材料表面电阻率测试 |
| 9 | 积分球测试 |
1.2主要性能参数
| 规格 | ||
| Chuck（可选） | 4" 或6" 不锈钢，真空吸附型，独立开关控制 | |
| Chuck X-Y轴行程，精度 | 4" x4"，10um | |
| Chuck 旋转角度 | 0~360 度 | |
| Chuck 旋转角度微调精度 | 0.01° | |
| Chuck快速升降（选配） | 4mm | |
| Chuck微调升降（选配） | 4mm ，1um精度 | |
| Chuck 平整度 | 5um | |
| 针座平台 | C型设计，可放置8个BT 型针座，可扩展为O型平台 | |
| 针座平台平整度 | 5 um | |
| 显微镜Z轴行程，精度 | 2"，细调精度0.1um | |
| 需求 | ||
| 电力 | 220 VAC, 60Hz | |
|
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| 真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
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| ||
| 尺寸 | ||
| 320mm宽*320mm长*400mm高（带显微镜） | ||
| 重 20 Kg（带显微镜） | ||
| 可选附件 | ||
| 激光切割 | ||
| 加热台 | ||
| 防震桌 | ||
| 显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 | ||
| 光强/波长测试接口部件 | ||
| 射频测试探头和线缆 | ||
| 有源探头 | ||
| 低电流/电容测试 | ||
| 高压测试 | ||
| CCD视频系统 | ||
| 液晶漏电分析套装 | ||
| 屏蔽箱 | ||
| 镀金Chuck | ||
2、探针台安装
2.1、样品台安装：在样品台X平移上找到样品台组件螺孔，选择合适螺杆进行安装；
2.2、显微镜支撑架安装：选择合适位置用固定块将不锈钢管固定在起（如下图），固定好之后放入固定座，并用顶丝顶住；
2.3、显微镜调焦架安装：
2.4、显微镜安装：
2.5、光源安装：将紧固螺丝拧松，将环形光源安装在显微镜下方，紧固螺丝。
2.6 探针夹具安装
● 使用配套螺丝将夹具倾仰安装固定到探针座上，可以根据需要进行上下调节位置
● 将探针座摆放在U型平台上固定好，拧松倾仰夹头4个螺丝，把夹具金属杆放入限位孔内，调整合适位置后拧紧螺丝
● 用镊子夹住探针中部，将弹簧夹具的弹簧压缩至探针固定孔露出，将探针插入固定孔，调整好位置后放松弹簧（注意：操作过程中不要触碰到针尖，否则针尖会变弯）
3.探针台配件
3.1体式显微镜 （可选配高倍率金相显微镜）
产品参数和特点
1． 鉴别力高，视场范围大，景深长。
2． 工作距离长至115mm。
3． 左右目镜屈光度可调正负5度，能满足不同视力的操作者观察。
4． 能随意调节手轮的力矩，满足不同操作者的使用习惯，更可以锁定手轮，方便定倍观察。
5． 本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1 ，物镜变倍范围0.8X-5X。
6． 双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52⁻⁷5mm.
产品优点：
产品造型比较新颖
机械特性优越，操作舒适度高。
光学系统鉴别力达300线对以上，符合国际标准
超长的工作距离位于国内同行之
独有的3A设计
创见性人机学设计，产品细节考虑全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防尘,防油\防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘\防油\防水或其它污染－－－－-这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性－－－－－－使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电－－－－－－防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用域：
教学示范，生物工程,IT产业检测，材料分析等域。
3.2针座和探针夹具（可选）
| 针座规格 | CB-80型 | CB-100型 | CB-40-T型 | CB-40型 |
| 尺寸 | 94mmW x 97mmD x 95mmH | 112mmW x 86mmD x 108mmH | 73mmW x 48mmD x 68mmH | 38mmW x 62mmD x 45mmH |
| 重量 | 680克 | 650克 | 300克 | 200 克 |
| 精度 | 0.7 Micron | 0.7 Micron | 2 Micron | 10 Micron |
| 牙具 | 100牙/寸 | 牙具 100牙/寸 | 80牙/寸 | 40牙/寸 |
| X-Y-Z线性行程 | 13mmX13mmX13mm | 13mmX13mmX13mm | 13mmX13mmX13mm | 13mmX13mmX13mm |
3.3 JVC模拟CCD
特点
l 1/3寸CCD,44万像素
l 535电视线的水平分辨率
l 0.7Lux的低照度（F1.2，25%，AGC开启）
l 50dB的高信噪比（AGC OFF）
l 内置10bit 数字图像处理器
Winfast XP100视频采集卡
特性
l 可选择的影像来源信号
可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像
输出设备，如录放影机、家庭摄影机、雷射光碟机、
影音光碟机及CCD摄影机，提供全方位的解决方案。
● 可编辑剪接影像片段
可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种特效与剪接编辑。
4.4探针夹具
● 弹簧式
使用便利，可用于较短时间的大电流（超过1安培）稳定性好，采用进口同轴线缆，高精度漏电为10PA，输出BNC（male）接头
● 管状式
测量微弱电流用，同时可接高压，采用进口triax线缆，端管装屏蔽结构，漏电小于100FA，高压可耐1000V（需要配合屏蔽箱）
3.5探针
美国GGB
| 型号 | 针尖直径 | 针杆直径 | 针长 | 材质 | 根/盒 |
|
软针类:适用于集成电路内部线路点针
| |||||
| T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬钨材质 | 5 |
| 0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上 |
| ||||
| T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬钨材质 | 5 |
| 0.7 微米针须焊接于镍质针杆上 |
| ||||
|
硬针类:适用于集成电路电点针
| |||||
| ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬钨材质 | 5 |
| ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬钨材质 | 5 |
| ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 5 |
| ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 5 |
| ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 5 |
3.6真空泵
日东工器VP0125
规格：
l 电压：AC220V
l 流量：7L/min
l 真空度：-60KPa
l 质量：0.7Kg
功能
l 提供真空动力源。
l 配合 CHUCK上的真空吸附孔来固定样品。
l 配合真空吸附型探针座，固定探针座。
特点
● 无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。
● 7升/分钟，可24小时无间断运转。
3.7防震桌：韩国大DVIO系列
规格说明
l 尺寸：48”宽X36”长（120cm宽X90cm长）
l 承重：200kg
防震效果
小承重 @ 20 psi 大承重 @ 80 psi
垂直本征频率 1.9HZ 垂直本征频率 1.5Hz
防震效率@ 5Hz 70% 防震效率@ 5Hz 85%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
水平本振频率 2.2Hz 水平本振频率 1.2Hz
防震效率@ 5Hz 64% 防震效率@ 5Hz 91%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
3.8屏蔽箱
CINDBEST CB-6
参数和特点
l 尺寸：880mm宽x710mm长x1140mm高
l 屏蔽光线和电磁干扰。
l 匹配探针台和防震桌设计。
l 与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa ，可抗2000V高压。
l 屏蔽箱上配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。
l 上掀式结构，节约空间，操作便捷。
l 可根据客户需求定制。
4.探针台的使用
1、 将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4、 显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。
6、 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。
5.常见故障的排除
当您使用本仪器时，可能会碰到些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。
| 症状 | 可能原因 | 解决方法 |
| 移动样品后画面变模糊 | 显微镜不垂直 | 调垂直显微镜 |
| 样品台不水平 | 调水平样品台 | |
| 样品不平 |
| |
| 显微镜视场亮度不足，边缘切割或看不到像 | 转换器不在定位位置上 | 把转换器转到定位位置上 |
| 管镜转盘不在定位位置上 | 把管镜转盘转到定位位置上 | |
| 照明的亮度不足 | 调节光源亮度或者把孔径光栏孔调大 | |
| 没有装目镜 | 装上目镜 | |
| 没有装物镜 | 装上物镜 | |
| 显微镜像质变差 | 目镜脏 物镜脏 管镜脏 | 对目镜，物镜，管镜脏的地方进行清洁 |
| 孔径光栏关的太大或者太小 | 调节孔径光栏 | |
| 没有调好焦 | 调节调焦手轮 | |
| 样本上盖有盖玻片等介质 | 移开盖玻片等介质 | |
| 图像边清晰，边模糊 | 样本倾斜放置 | 放平样本，或者调节样品台水平 |
| 物镜没有旋紧 | 旋紧物镜 | |
| 眼睛容易疲劳 | 双目头的瞳距和操作者不匹配 | 调节双目头的瞳距 |
|
| 目镜视度调节不正确 | 调节目镜视度 |
|
| 照明亮度不合适 | 调节光源亮度或者孔径光栏孔 |
6.维护和保养
6.1避免碰撞
l 在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。
6.2仪器的运输
l 仪器运输时，请先拔掉电源线插头。
l 仪器运输应使用门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。
6.3仪器的存放
l 使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。
l 探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。
l 探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。
l 停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.
l 操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。
7.工作环境
l 探针台应放在稳定可靠的台面上，好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。
l 使用佳温度范围为5℃～40℃，佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。
l 使用电源：220±10%，50~60Hz
