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十万级无尘车间净化工程标准规范
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洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。用空态和静态方法进行测试。
十万级无尘车间:是指空气洁净度为十万级的洁净车间。空气洁净度是指洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度,通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低,含尘浓度低则空气洁净度高。就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。
本文多角度阐述10万级洁净车间建造的标准规范,结合现行各规范标准,归纳出洁净度10万级净化车间的特点。
从换气次数角度上来说:
100000(10万)级要求每小时换气18-25次,完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
10000(1万)级别要求每小时换气25-30次,完全换气后空气净化时间不超过30分钟。
1000(1千)级别要求每小时换气40-60次,完全换气后空气净化时间不超过20分钟。
各种等级包括10万级净化车间洁净度标准参考如下:
ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)
| 空气洁净度等级(N) | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) | |||||
| 0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5um | 1um | 5 um | |
| ISO Class 1 | 10 | 2 |
|
|
|
|
| ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO Class 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO Class 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 | |
| ISO Class 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
| ISO Class 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
| ISO Class 7 |
| 352 000 | 83 200 | 2 930 | ||
| ISO Class 8 |
| 3 520 000 | 832 000 | 29 300 | ||
| ISO Class 9 |
| 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 | ||
| 注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 | ||||||
空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准)
| 粒径、数值洁净度级别 | 尘埃最大允许数/立方米 | 微生物最大允许数 | ||
| ≥0.5um | ≥5um | 浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 | |
| 100 级 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 10,000 级 | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
| 100,000 级 | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
| 300,000 级 | 10,500,000 | 60,000 | — | 15 |
英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级:
| 空气洁净度等级(N) | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) | ||||
| 0.3um | 0.5um | 5um | 10um | 25 um | |
| C | 100 | 35 | 0 |
|
|
| D | 1000 | 350 | 0 | ||
| E | 10000 | 3500 | 0 | ||
| F |
| 3500 | 0 | ||
| G | 100000 | 35000 | 200 | 0 | |
| H |
| 35000 | 200 | 0 | |
| J |
| 350000 | 2000 | 450 | 0 |
| K |
| 3500000 | 20000 | 4500 | 500 |
| L |
|
| 200000 | 45000 | 5000 |
| M |
| 450000 | 50000 | ||
各种国际洁净度标准的比较:
| 美国联邦 | 美国联邦 | 英国标准 | 澳大利亚标准 | 法国标准 | 德国标准 | 国际标准 | 日本标准 |
| 标准 209D | 标准 209E | BS5295 | AS1386 | AFNORX44101 | VDI2083 | 14644-1 | JACA24 |
|
|
|
|
|
|
| 1 | 1 |
|
|
|
|
| — | 0 | 2 | 2 |
| 1 | M1.5 | C | 0.035 | — | 1 | 3 | 3 |
| 10 | M2.5 | D | 0.35 | — | 2 | 4 | 4 |
| 100 | M3.5 | E | 3.5 | 4000 | 3 | 5 | 5 |
| 1000 | M4.5 | G | 35 | — | 4 | 6 | 6 |
| 10000 | M5.5 | J | 350 | 400000 | 5 | 7 | 7 |
| 100000 | M6.5 | K | 3500 | 4000000 | 6 | 8 | 8 |
|
|
| M |
|
| 7 | 9 | — |
综上以上标准,可以得出10万级无尘车间净化对应的参数如下:
| 洁净度等级 | 尘粒最大允许数/pc.m3 | 换气次数/h | 气流流型 | |
| ≥0.5μm | ≥5μm | |||
| 100 000 | 3 500 000 | 20 000 | 10~15 | 非单向流 |
10万级无尘车间净化标准
1.尘粒最大允许数(每立方米);
2.大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过20000个;
3.微生物最大允许数;
4.浮游菌数不得超过500个每立方米;
5.沉隆菌数不得超过10个每培养皿。
压差:相同洁净度等级的净化车间压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa,净化车间与非净化车间之间要≥10Pa
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