复合分子泵(STD FF-1600)

复合分子泵

复合分子泵产品简介：

复合分子泵广泛地应用于光谱仪器、电子显微镜、检漏仪、表面物理和分析仪器、质谱仪；真空镀膜行业、显像管生产、半导体制造业、等离子刻蚀等领域。

复合分子泵规格参数：

l 压缩比：N2:108；H2:4×103

l 电机转速：24000r/min

l 最大功率输入：1 KW

l 润滑油量：260ml

l 冷却方式：水冷

l 冷却水耗量：90L/h

l 冷却水温度：＜24℃

l 启动时间：＜10min

l 输出频率：400Hz+10Hz

l 输出电压：120V（峰值）

l 启动电流：5A

l 工作电流：2A

l 进气口通径：DN250mm

l 排气口通径：KF40mm

l 抽气速率：1600L/s

l 极限压强：5×10⁻⁷Pa （金属密封）；5×10-6Pa （橡胶密封）

复合分子泵产品特点：

1、高极限真空：独特的整体加工转子，可运转于更高的工作转速，提高了泵的极限真空；

2、大抽速：复合分子泵是由涡轮级和牵引级复合而成，从而提高了泵的抽速；

3、高压缩比：转子独特的螺旋槽式牵引级使泵具有高的压缩比和耐粉尘能力；

4、低噪音：采用高精度球轴承，动平衡好，对轴承的磨损小，轴承寿命长，整机振动小，噪音低；

5、清洁无油：复合分子泵是靠动叶片和定叶片的相对运动抽除、拖动、传输气体分子排出，因此可获得清洁 无油的高真空和超高真空；

6、节能：由于整体转子比分体转子轻，因此电机负载小，消耗功率小，可以运行更高的转速。