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KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140 溅射制备 MnGe 量子点
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云南某大学实验室采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140离子束溅射制备尺寸均匀、高密度的 MnGe 量子点, MnGe 量子点属于半导体量子材料的域.
伯东 KRI考夫曼射频离子源 RFICP140 技术参数:
| 型号 | RFICP 140 |
| Discharge | RFICP 射频 |
| 离子束流 | >600 mA |
| 离子动能 | 100-1200 V |
| 栅直径 | 14 cm Φ |
| 离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
| 流量 | 5-30 sccm |
| 通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
| 典型压力 | < 0.5m Torr |
| 长度 | 24.6 cm |
| 直径 | 24.6 cm |
| 中和器 | LFN 2000 |
运行结果:
KRI考夫曼射频离子源 RFICP140 可控性强, 制备工艺简单, 具有较强的商业价值.
在2016年, 美国航空航天局认可 KRI 创始人, 哈罗德·考夫曼博士, 作为离子推进的开拓者通过表彰他感应进入名人堂的格伦研究中心大厅.
KRI 考夫曼公司为全球的高科技工业家, 真空系统OEM和研究机构提供先进的解决方案, 通过授权客户运送了超过3500多个 KRI 离子源, 包括 KRI 霍尔型离子源 Gridless (无栅网离子源)/ KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC(栅网离子源)/ KRI 射频离子源 Gridded RFICP(栅网离子源), 及离子源中和器/ 离子源灯丝/ 离子源控制器/ 离子源中空阴等
KRI 离子源的独特功能实现了更好的性能, 增强的可靠性和新颖的材料工艺. KRI 离子源已经获得了理想的薄膜和表面特性, 而这些特性在不使用 KRI 离子源技术的情况下是无法实现的.
KRI 离子源是域公认的导者, 已获得许多利. KRI 离子源已应用于许多已成为行业标准的过程中.
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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原创作者：伯东企业（上海）有限公司
