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KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP380 溅射镀制 TC4 表面 TiN 涂层
点击次数：90 发布时间：2020/12/28 16:03:44
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KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP380 溅射镀制 TC4 表面 TiN 涂层
武汉某大学研究中心为了改善 TC4 表面性能, 采用KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP380溅射镀制 TC4 表面 TiN 涂层, 提高钛合金表面耐磨耐腐蚀性能, 提高高温抗氧性能.
伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:
| 射频离子源型号 | RFICP380 |
| Discharge 阳 | 射频 RFICP |
| 离子束流 | >1500 mA |
| 离子动能 | 100-1200 V |
| 栅直径 | 30 cm Φ |
| 离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
| 流量 | 15-50 sccm |
| 通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
| 典型压力 | < 0.5m Torr |
| 长度 | 39 cm |
| 直径 | 59 cm |
| 中和器 | LFN 2000 |
客户采用 KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP380 产生离子束不断轰击源靶材和工件, 工件在离子束轰击下迅速被加热至高温, 源靶材在轰击作用下溅射出的合金元素不断奔向工件表面, 经沉积扩散过程形成定厚度的涂层.
运行结果:
1. 具有沉积薄膜速度快, 厚度容易控制等特点
2. 涂层的SEM形貌观测显示涂层均匀, 致密, 无明显孔洞缺陷, 涂层厚度约为10um, 过度层厚度约为3um.
3. 涂层的力学性能及磨损性能分析显示, 涂层的临界载荷达到81.75N, 远远满足工程要求, 涂层与基体结合良好.
4. 在高温（500℃）下, TiN的摩擦系数更稳定.
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
原创作者：伯东企业（上海）有限公司
