电容式压力变送器的原理

与力平衡式相＆，电容式压力变送器没有传动n构，因而R0紧凑．抗振性好。R由于精确度高．调整零点和量程时互不干扰，近来获得r泛地应用。我国西安和北京都B从美国Rosemounl公司引进生产线，它包括Ⅱ力、差压、绝对压力、带开方的蔫压（用于测流量）等品种，及高差压、傲差压、高静压等规格，

从工业生产过程自动化的应用数量米说，差压变送器比压力变送器还多．此处按差压介绍，原理和结构与测Ⅲ力的基本上一洋。

电容式差压传感器的原理。

将左右对称的不锈钢基座2和3的外侧加T成Ⅱ状波纹沟槽，并焊±渡纹隔离膜片I和4。基座内侧有玻璃层5．基座和玻璃屡中央都有孔，玻璃层内表面軎成口球面，球面除边缘部分外镀“盒Ⅸ膜6．此金属膜层有导鳗通往外部，为电容的左右定极板．左右对称的上述结构中央夹^并焊接弹性平膜片．即测量膜片7．为电喜的中兜动敏板。测量膜片左右空间被分隔成两r室．故有两室结椅之称，国外也有室结构的传感器．其左右州室有管路相通。

在测量膜片左右两室中充满硅油．当左右隔目3 6 1Ⅲ$镕目∞q#《}＆*《#离膜片分别承受高压舢和低压A时．硅油的不可Ⅲ缩性和流动性便能将差Ⅲjp=“一P。传递到测量膜片的左右Ⅲ±。困为测量膜片在焊接前加有预张力，所以当差压Ap一0时十分平整使得定板板左右两电容的容量完垒相等．即C—C．电容量的差值为零，在有差压作用时．测量膜片发生变形，乜就是动槛板向低压侧定极扳靠近．同时远离高压侧定极板，使得电容C c>c“。可见，这就是差动电容式压力变送器或差压传感器。

采用差动电容式压力变送器的好处是．灵蛐度高．可改善线性，井呵喊少由于介电常数s受温度影响引起的不稳定性。

为了分析中央动彀扳引起的阿删电容变化．呵参看示意圉，图3 s 2。

在图3 6 20）中，无差Ⅲ时．动哑板两侧初始电存皆匀（1．有差压时．动嘏扳变形到虚线位置，它与初始位髓q的假想电容值用（、一表i。虚线位置和低压侧定掇Ⅸ问的电容为C。，与高压侧定极板间的电容为。一。这口个电容C…C．C．C”之间有图（3 6 2）（6）的等效关系。

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