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英国原装进口Talysurf CCI系列白光干涉仪表面轮廓仪
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价格：￥电议
更新日期：2026/6/30 18:56:54
生 产 地：欧洲
产品型号：CCI6000
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详细内容
Talysurf CCI 6000白光干涉仪
随着科技潮流,非接触式的量测至今已被广泛的应用在生产及研发上，而Taylor Hobson经多年的研发于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉仪可堪称目前世界上精度最高功能最强的白光干涉仪，,其超高解析度的特性（0.1Å），可以运用在量测晶圆 ，微机电及抛光元件等产品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等，而非破坏性的特性更可以有效的量测软性物质，在迈入奈米纪元同时相信Talysurf CCI 6000绝对是各大企业不可少的量测系统。
Talysurf CCI 6000白光干涉仪：
&解析度（Z轴） 0.01nm （0.1Å）
&测量范围（Z轴） 100um
&测量范围（X x Y） 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm（依物镜倍率不同可自由选择）
&1024 x 1024 高解析量测点数
&受测物的反射率 0.3% - 100% （透明物亦可量测）
硬件及软件
&气浮式防震系统已隔绝楼板震动‧隔离罩以隔离外在环境避免影响量测精度
&相容于Windows 2000及 Windows XP 系统
CCI干涉仪 Mirau 干涉
白光干涉仪3D分析软件
&Talymap 3D & 2D 分析软体。
&可分析项目: 粗度 平面度 波纹 膜厚 体积计算 承压比值 等等。
&微机电尺寸计算（距离 高度 等计算）‧表面频谱分析（FFT）
MEMS Sensor
Optics Diamond Turned& Wafer Step
Talysurf CCI 6000白光干涉仪应用：
&MEMS 微小尺寸计算
&Silicon Wafer 表面粗度 平面度
&非球面镜表面粗糙度
&硬碟 光碟表面组织形状
&OLED PDP LCD 膜厚分析计算
