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SIH4 硅烷传感器

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更新日期：2026/9/8 3:20:37

生产地：

产品型号：SIH4

简单介绍：硅烷传感器（SIH4传感器）一、硅烷传感器（SIH4传感器）概述：硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化

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详细内容

硅烷传感器（SIH4传感器）

一、硅烷传感器（SIH4传感器）概述：
硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上*的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。
现在电子气体的使用越来越多，半导体的生产、LED的生产、晶体加工、精密加工等行业带来很多麻烦，这些毒气的检测都离不开SIH4.

二、选型表：

三、应用领域：
生产过程安全检测、环境污染检测、大气环境检测、垃圾焚烧烟气监测

四、技术参数：

产品名称：高精度硅烷(SIH4)传感器 SIH4/C-50

产品主要参数：

测量范围：0～50ppm

zui大负载：ND

工作寿命：空气中2年

输出信号：1000±300nA/ppm

分辨率：0.2 ppm

温度范围：-40°C to 45°C

压力范围:标准大气压± 10%

响应时间(T90)：﹤60sec

相对湿度范围：15%to90%

典型基线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm

zui大零点漂移（20°C to 40°C）：ND

长期输出漂移：﹤2% signal loss/months

推荐加载电阻：10 Ω

偏置电压：不需要

产品名称：高精度硅烷(SIH4)传感器 SIH4/M-50

产品主要参数：

测量范围：0～50ppm

zui大负载：ND

工作寿命：空气中2年

输出信号：500±60nA/ppm

分辨率：0.3 ppm

温度范围：-40°C to 50°C

压力范围:标准大气压± 10%

响应时间(T90)：﹤60sec

相对湿度范围：15%to90%

典型基线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm

zui大零点漂移（20°C to 40°C）：ND

长期输出漂移：﹤2% signal loss/months

推荐加载电阻：10 Ω

偏置电压：不需要

产品名称：高精度硅烷(SIH4)传感器 SIH4/S-50-S

产品主要参数：

测量范围：0～50ppm

zui大负载：ND

工作寿命：空气中2年

输出信号：1000±300nA/ppm

分辨率：0.2 ppm

温度范围：-40°C to 45°C

压力范围:标准大气压± 10%

响应时间(T90)：﹤60sec

相对湿度范围：15%to90%

典型基线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm

zui大零点漂移（20°C to 40°C）：ND

长期输出漂移：﹤2% signal loss/months

推荐加载电阻：10 Ω

偏置电压：不需要

产品名称：高精度硅烷(SIH4)传感器 SIH4/S-50

产品主要参数：

测量范围：0～50ppm

zui大负载：ND

工作寿命：空气中2年

输出信号：1000±300nA/ppm

分辨率：0.2 ppm

温度范围：-40°C to 45°C

压力范围:标准大气压± 10%

响应时间(T90)：﹤60sec

相对湿度范围：15%to90%

典型基线范围（纯净的空气， 20 ℃ ）：0 to -1ppm

zui大零点漂移（20°C to 40°C）：ND

长期输出漂移：﹤2% signal loss/months

推荐加载电阻：10 Ω

偏置电压：不需要

五、 结构：

六、 图片：

SIH4,,硅烷传感器

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