TPY-1型 天津拓普椭圆偏振测厚仪

产品特点：

• 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点；
• 光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高；
• 仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件，方便用户使用。

规格与主要技术指标：

• 测量范围：薄膜厚度范围：1nm-300nm；
• 折射率范围：1-10
• 测量zui小示值：≤1nm
• 入射光波长：632.8nm
• 光学中心高：80mm
• 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
• 偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05°
• 测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±1nm和±0.01
• 入射角连续调节范围：20°- 90°精度为0.05°
• 主机重量：25kg

成套性：主机、电控系统、计算软件

外形尺寸：680*390*320mm