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Miracle Inspection系列晶圆级检测显微镜
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更新日期：2026/8/14 13:40:27
生 产 地：中国大陆
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相关标签：半导体显微镜,晶圆检查显微镜,晶圆级检测显微镜
详细内容
Miracle Inspection系列晶圆级检测显微镜是一款功能强大的晶圆检测设备，集成了多个模组，可满足多种检测需求。它配备了8吋晶圆XY手动/电动运动台模组，XY运动轴精度高达≤2 µm，行程为205 mm * 205 mm，并带有离合器手柄，可实现快速移动。Z轴运动台同时配备电传手轮和码盘，微调精度≤1 µm，行程≥36 mm。物镜模组采用蔡司原装的手动/电动物镜切换装置，提供多种蔡司物镜选择，包括EpiPlan消色差物镜，EPN半复消色差物镜以及EPA复消色差物镜。光源模组提供5W和10W LED透射式光源。晶圆放置模组兼容4英寸，6英寸和8吋晶圆片，并保留透射光路，晶圆载物台可拆卸，支持液晶面板的检测功能。成像观察模组适配蔡司的Axiocam系列相机，海康威视系列相机以及蔡司的目镜（选配），提供明场/暗场的观察方式，可选配微分干涉，荧光和偏光的观察方式。远程控制手柄集成了物镜切换装置按钮，照明光光强控制按钮，反射照明和透射照明切换按钮，电传Z轴聚焦旋钮，XY运动轴遥感，缺陷标记和主动对焦快速确定按钮。此外，该设备还可兼容主动对焦模组，实现50×物镜下对被观察的实时对焦功能；可兼容缺陷标记模组，实现对样品缺陷部分进行实时标记；以及可兼容晶圆搬运模组，实现晶圆片的自动上下料。这款产品是晶圆检测的理想选择。
半导体显微镜,晶圆检查显微镜,晶圆级检测显微镜
