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智能、易用、准确 Miracle Inspection系列晶圆级检测显微镜
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价格：￥电议
更新日期：2026/8/14 13:40:27
生 产 地：中国大陆
产品型号：
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相关标签：半导体显微镜,晶圆检查显微镜,晶圆级检测显微镜
详细内容
1.XY手动运动台动运动台
8吋晶圆XY手动/电动运动台模组
XY运动轴精度：≤2 µm
行程：205 mm * 205 mm
XY运动轴带离合器手柄，可快速移动
2.Z轴运动台
Z轴同时配备电传手轮和码盘
Z轴微调精度：≤1 µm
行程：≥36 mm
3.物镜模组
采用蔡司原装的手动/电动物镜切换装置
蔡司EpiPlan消色差物镜，EPN半复消色差物镜以及EPA复消色差物镜
4.光源模组
5W LED透射式光源
10W LED透射式光源
5.晶圆放置模组
兼容多尺寸晶圆的载物台（可兼容4英寸，6英寸和8吋晶圆片）
保留透射光路，晶圆载物台可拆卸，支持液晶面板的检测功能
6.成像观察模组
适配蔡司的Axiocam系列相机，海康威视系列相机
适配蔡司的目镜（选配）
提供明场/暗场的观察方式，可选配微分干涉，荧光和偏光的观察方式
7.远程控制手柄
物镜切换装置按钮
照明光光强控制按钮，并且可以随物镜/观察方式自动调节当前光强
反射照明和透射照明切换按钮
电传Z轴聚焦旋钮，XY运动轴遥感
缺陷标记和主动对焦快速确定按钮
8.主动对焦模组
可兼容主动对焦模组，实现50×物镜下对被观察的实时对焦功能
9.缺陷标记模组
可兼容缺陷标记模组，实现对样品缺陷部分进行实时标记晶圆搬运模组
10.晶圆搬运模组
可兼容晶圆搬运模组，实现晶圆片的自动上下料
半导体显微镜,晶圆检查显微镜,晶圆级检测显微镜
