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高精度大型真空探针台
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价格：￥电议
更新日期：2024/9/9 16:34:21
生 产 地：中国大陆
产品型号：KT-Z160T-RL
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详细内容
-196℃到400℃(液氮)；
超高温度分辨率；
低温具有*稳定性
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
高精度大型真空探针台
| 真空腔体 | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 |
| 上盖开启 | 铰链侧开 |
| 加热台材质 | 304不锈钢 |
| 内腔体尺寸 | φ160x90mm |
| 观察窗尺寸 | Φ70mm |
| 加热台尺寸 | φ60mm |
| 观察窗热台间距 | 75mm |
| 加热台温度 | ﹣196~350℃ |
| 加热台温控误差 | ±1℃ |
| 真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允许正压 | ≤0.1MPa |
| 真空抽气口 | KF25真空法兰 |
| 气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
| 电信号接头 | SMA转BNC X 4 |
| 电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
| 探针数量 | 4探针 |
| 探针材质 | 钨针 |
| 探针尖 | 10μm |
| 探针移动平台 | |
| X轴移动行程 | 30mm ±15mm |
| X轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Y轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
| Y轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Z轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
| Z轴控制精度 | ≤0.01mm |
| 电子显微镜 | |
| 显微镜类别 | 物镜 |
| 物镜倍数 | 0.7-4.5倍 |
| 工作间距 | 90mm |
| 相机 | sony 高清 |
| 像素 | 1920※1080像素 |
| 图像接口 | VGA |
| LED可调光源 | 有 |
| 显示屏 | 8寸 |
| 放大倍数 | 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm |
