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高真空大型探针台
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价格：￥电议
更新日期：2024/9/9 16:34:21
生 产 地：中国大陆
产品型号：KT-Z160T-RL
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邱**
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详细内容
高真空大型探针台，采用304不锈钢腔体，样品台温度-196℃到400℃，观察窗尺寸直径70mm，
预算及产品品质一直是困扰用户的两个难题。郑科探推出的KT-Z160T-RL大型探针台具有探针臂精度小于0.01mm，探针尖10μm，配有电子显微镜放大倍数19-135倍。20升液氮可连续使用30个小时。价格相对合理。
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高真空大型探针台
| 真空腔体 | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 |
| 上盖开启 | 铰链侧开 |
| 加热台材质 | 304不锈钢 |
| 内腔体尺寸 | φ160x90mm |
| 观察窗尺寸 | Φ70mm |
| 加热台尺寸 | φ60mm |
| 观察窗热台间距 | 75mm |
| 加热台温度 | ﹣196~350℃ |
| 加热台温控误差 | ±1℃ |
| 真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允许正压 | ≤0.1MPa |
| 真空抽气口 | KF25真空法兰 |
| 气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
| 电信号接头 | SMA转BNC X 4 |
| 电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
| 探针数量 | 4探针 |
| 探针材质 | 钨针 |
| 探针尖 | 10μm |
| 探针移动平台 | |
| X轴移动行程 | 30mm ±15mm |
| X轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Y轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
| Y轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Z轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
| Z轴控制精度 | ≤0.01mm |
| 电子显微镜 | |
| 显微镜类别 | 物镜 |
| 物镜倍数 | 0.7-4.5倍 |
| 工作间距 | 90mm |
| 相机 | sony 高清 |
| 像素 | 1920※1080像素 |
| 图像接口 | VGA |
| LED可调光源 | 有 |
| 显示屏 | 8寸 |
| 放大倍数 | 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm |
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