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实验室精密小型溅射仪器
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价格：￥电议
更新日期：2024/9/9 16:34:21
生 产 地：中国大陆
产品型号：KT-Z1650PVD
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详细内容
郑科探的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心，并得到了很好的参考和反馈。
仪器描述：
实验室精密小型溅射仪器，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。
产品特点：
• 彩色触摸屏：数据输入简单快速
• 通过触摸屏中直观检测数据和曲线；历史页面可显示历史涂层信息。
• 可控镀膜速率，可得到更精细的晶粒结构
• 可手动或自动，根据时间或根据厚度进行溅射
• 样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转；行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。
实验室精密小型溅射仪器技术参数；
| 控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 溅射电源 | 直流溅射电源 |
| 镀膜功能 | 0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 功率 | ≤1000W |
| 输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
| 真空 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
| 溅射真空 | ≤30Pa |
| 挡板类型 | 电控 |
| 真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
| 样品台 | 可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
| 样品台转速 | 8转/分钟 |
| 样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
| 真空测量 | 皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
| 预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
