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小型真空磁控溅射仪 桌面式溅射镀膜仪器

小型真空磁控溅射仪 桌面式溅射镀膜仪器

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价格:¥36800

更新日期:2023/5/6 17:38:51

生 产 地:中国大陆

产品型号:KT-Z1651PVD

简单介绍:离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质
量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴的位
置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。

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详细内容

小型直流磁控溅射仪
离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体
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