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小型溅射仪
点击次数：103 发布时间：2023/11/4 15:29:00
商家名片
孟**
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一：产品参数
1． 产品名称：小型溅射仪
2． 产品型号：KT-Z1650PVD
3． 产品品牌：郑科探 Zhengketan
4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司
二：功能要求
KT-Z1650PVD 是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器
虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，
及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对
大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品
污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜。
三：主要技术要求
1． 控制方式：7 寸人机界面 手动 自动模式切换控制
2． 溅射电源：直流溅射电源
3． 镀膜功能：0-999 5 段可变换功率及挡板位和样品速度程
序
4．功率：≤1000W
招标技术参数 郑州科探仪器设备有限公司
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5． 输出电压电流：电压≤1000V 电流≤1A
6． 真空度：机械泵 ≤5Pa（5 分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa
7． 射频真空：≤10Pa
8． 挡板类型：电控
9． 真空腔室：不锈钢腔体φ160mm x 170mm
10． 样品台：可旋转φ62 （可安装φ50 基底）
11． 样品台转速：8 转/分钟
12． 样品溅射源调节距离：40-105mm
13． 真空测量：皮拉尼真空计（已安装 测量范围 10E5Pa
1E-1Pa）
14． 预留真空接口：KF25 抽气口 KF16 放气口 6mm 卡套
进气口
四：主要配置要求
1．1 台 · 小型溅射仪 KT-Z1650PVD 主机
2．1 个 · 真空挡板阀 KF25 接口
3. 1 个 · 放气阀 KF16 接口
4. 1 个 · 52T 真空计 KF16
5. 1 台 ·
（选配）分子泵真空机组，机械泵
原创作者：郑州科探仪器设备有限公司
