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新微型高低温探针台
点击次数：102 发布时间：2023/11/4 15:27:52
商家名片
孟**
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一：产品参数
1． 产品名称：新微型高低温探针台
2． 产品型号：KT-Z4019MRL4T
3． 产品品牌：郑科探 Zhengketan
4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司
二：功能要求
KT-Z4019MRL4T 测试腔体内部装有不锈钢加热或制冷承载台，台面为φ30，台
面可升温到400℃。台面四周装有微型 3 轴可移动钨钢探针，特别适合微小
未封装的叉指电等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械
泵可达＜5Pa 分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工别真空电信号接头，
气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针尖处由
3 轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测
试电学信号
三：主要技术要求
1． 腔体材质：304 不锈钢 6061 铝合金 可选
2． 腔体内尺寸：127mmX57mmX20mm
3． 腔体外尺寸：150mmX80mmX32mm
4． 腔体重量：不锈钢材质 约 1.5KG 铝合金材质 约 0.5KG
5． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
6． 腔体抽气口：KF16 法兮（其余接口规格可转接）
7． 腔体真空测量口：KF16 法兮（其余接口规格可转接）
8． 腔体进气口：6mm 快拧 或 6mm 快插
9． 腔体冷却方式：腔体水冷+上盖气冷
10． 腔体水冷接口： 6mm 快插
11． 允许正压：≤0.05MPa
12． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （5 分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30 分钟）
原创作者：郑州科探仪器设备有限公司
