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郑科探 叉指电用微型探针台厂家
点击次数：204
价格：￥19800
更新日期：2026/7/21 11:11:52
生 产 地：中国大陆
产品型号：
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详细内容
探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面高可升温到高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测
探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面高可升温到高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测
微电的厚度和长宽比。| 样品台 | ||||
|
样品台材质 | 不锈钢 银铜合金 纯银块 | 银铜合金 纯银块 | ||
| 样品台尺寸 | 26x26mm | |||
| 样品台加热方式 | 电阻加热 | 电阻加热 液氮制冷 | ||
| 样品台-视窗 距离 | 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） | |||
| 样品台测温传感器 | PT100型热电阻 | |||
| 样品台温度 | 室温到400℃ | 室温到350℃ 室温到-196℃ | ||
| 样品台测温误差 | ±0.5℃ | |||
| 样品台升温速率 | 高温100℃/min 大值 低温7℃/min | |||
| 温控仪 | ||||
| 温度显示 | 7寸人机界面 | |||
| 温控类型 | 标准PID温控 +自整定 | |||
| 温度分辨率 | 0.1℃ | |||
| 温控精度 | ±0.5℃ | |||
