DIC迪爱生防静电装置|玉崎半导体

一、DIC迪爱生防静电装置工作原理：

超纯水（DIW）从中空纤维膜内侧流过，CO₂气体从膜外侧透过致密透气膜溶解进纯水（膜只透气、不透水）；

CO₂溶于水电离出微量离子，提升纯水导电能力、降低电阻率；

设备通过配比CO₂饱和水+原生超纯水的混合比例，闭环控制出水电阻率，稳定抑制静电积累，杜绝清洗时静电击穿晶圆线路、粉尘静电吸附问题。配套CO₂溶解模组原厂质保5年，寿命远优于同类竞品。

二、DIC迪爱生防静电装置核心产品优势：

电阻率稳定性ji强：du有分流管路设计，流量波动下出水阻值波动极小，对比国产设备控值精度提升60%，适配高精度晶圆切割/湿法清洗；

故障率低：无精密泵阀、无动态密封结构，模块化构造，运维简单；

低水压损耗：DIC中空纤维膜低压渗透，管路压降小，不用额外增压泵，节省纯水站改造成本；

多功能拓展：除CO₂调质防静电，更换模组可实现纯水脱氧、制备弱酸性功能清洗水、锅炉给水除氧。

三、主流应用场景：（半导体/光电为主）

半导体晶圆：硅片DICING切割清洗、湿法槽洗、SC清洗、Wafer高压喷淋；

面板/光学：LCD/OLED基板清洗、掩模版/光罩清洗，防止静电击穿像素线路；

精密电子：PCB超细线路清洗、元器件超纯水漂洗；

其他：光伏硅片清洗、精密五金超纯水防静电喷淋、超声波清洗线调质用水。

四、拓展补充：

eFLOW隶属于DICSEPARAL膜系产品线，同系列还有EF/PF系列单支脱气/供气膜元件（仅模组、无电控柜体），eFLOW是集成电控+混水+CO₂供气的成套整机设备，多用于产线终端纯水调质段。

更多：DIC迪爱生防静电装置

http://www.tssemi.com.cn/Products-40033831.html

https://www.chem17.com/st695462/list_2659284.html

原创作者：济南弘浩环保设备有限公司