CVI-1700系统

CVI-1700系统由SGL-1700L真空管式炉，HQZ-Ⅳ混气系统，真空压强控制系统，尾气冷凝收集处理系统等组成。真空泵采进口抗腐蚀隔膜真空泵，真空度可达到7.5x10-1Torr；可实现多路混合气体化学气相沉积和扩散试验。

主要技术参数：

SGL-1700L

真空管式炉

双层炉壳间配有风冷系统，外壳表面温

日本技术真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好

加热元件采用U型硅钼棒，表面负荷高，大大提高了其使用寿命

机器电源

AC220V，50/60Hz；额定功率6KW

炉管

采用99氧化铝刚玉管，致密度高，经久耐用，不易断裂

尺寸：Φ80*/1000mm

刚玉支撑架，料件处于温区中心

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速水冷法兰，水冷无腐蚀

一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合，4个密封硅胶圈等

加热系统

加热元件：4根U型硅钼棒

加热区长度：280mm

恒温区长度：100mm

工作温度：≤1600℃

升温速率：≤10℃/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能

50段升降温程序

测温元件：B型双铂铑热电偶

恒温精度：±1℃

超温、断偶故障警报及断电保护

HQZ-Ⅳ

混气系统

高精度质量流量计通过数据接口连接电脑，配置软件实时人机交互界面

四通道质量流量控制，可同时通入四种不同气体

内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

流量规格：0~30SLM

控制精度：±1.0％F.S

真空系统

采用德国LABOPORT小型抗腐蚀隔膜真空泵，可用于腐蚀性气体和蒸汽介质

真空度可达7.5x10-1 Torr

可长时间连续工作，无须担心泵因过热保护而中止实验

可选配真空表，实现对真空及压力的调节控制

配置气体尾气处理系统

冷凝系统

采用低温恒温槽，zui低温度可达-20℃

内置不锈钢真空冷凝灌，采用KF接头，清理收集方便

槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验