扫描电镜不同工作距离下测试的特点

对比项

大工作距离（>8mm）的情况

小工作距离（<4mm的情况）

探头对样品信息的接收

样品仓及镜筒内探头都能接收到样品信息。工作距离越大样品仓探头接收的电子信息越多，但存在一个特定工作距离

样品越靠近空镜筒，镜筒内探头对样品信息接收越好。样品仓探头越接收不到样品信息。

对样品分析的影响

有利于对样品进行能谱及EBSD分析

不利于对样品进行能谱及EBSD分析

图像信息的种类

可以自由组合各种探头所需获取的电子信息。表面形貌信息为充分

以镜筒内探头获取样品表面二次电子为主，所呈现的形貌信息较为单调。

图像的空间立体感

立体感强

较差

高倍率（>10万倍）图像的清晰度

较差

清晰度高

分辨力

有利于分辨大于200nm的样品细节

有利于观察小于10nm的样品细节

荷电场、物镜漏磁的影响

不易受到样品的荷电场及物镜漏磁的影响

易受样品的荷电场及物镜漏磁的影响

样品移动范围

大

小

倍率变化范围

大

小

对样品的热损伤

小

大

对镜筒的污染

小

大