PM2.5传感器

　　PM2.5传感器是一款采用激光散射原理的车用粉尘传感器，可精确检测并计算单位体积内空气中不同粒径的悬浮颗粒物的个数，通过数学算法及科学标定输出颗粒物质量浓度。

　　PM2.5传感器平板显示制程良率受微粒污染和静电损害影响

　　以TFT-LCD为代表的显示面板生产过程主要有三个工序Array、Cell和Module，制造程序复杂，制造过程中需要进行严格的环境管控，减少对产品的损害。OLED因其构造简单，制造流程不像LCD那样复杂，但也需要在洁净环境中生产。在平板显示制程中影响产品良率的污染物有很多，包括金属离子、气态分子污染物、微粒、细菌以及静电等，其中对LCD和OLED制程良率影响的是微粒污染和静电损害。

　　·微粒污染

　　随着器件微型化和精细化进程的加快，高密度的集成电路的图形特征尺寸和表面沉积层的厚度都已经降到微米级别，更容易受到微粒的影响，基板表面微粒沉积，易引起基板点缺陷甚至线缺陷特性不良，降低良品率。

　　PM2.5传感器

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