P-7探针式轮廓仪

　　KLA Tencor? P-7探针式轮廓仪以市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的测量性能，为台式探针式轮廓仪提供了的性价比。KLA Tencor? P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达150mm，无需拼接。

　　P-7探针式轮廓仪特征

　　台阶高度：纳米级到1000微米

　　恒定力控制：0.03至15mg

　　样品的全直径扫描，无需拼接

　　视频：5MP高分辨率彩色相机

　　弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

　　软件：简单易用的软件界面

　　生产能力：全自动测量，具有测序、图形识别和SECS/GEM功能

　　应用

　　台阶高度：2D和3D台阶高度

　　纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

　　形状：2D和3D翘曲、形状

　　应力：2D和3D薄膜应力

　　缺陷检测：2D和3D缺陷表面形貌

　　P-7探针式轮廓仪

　　http://www.firstnanosystem.cn/Products-39065255.html

　　https://www.chem17.com/st326752/product_39065255.html

原创作者：上海赫冠仪器有限公司