VODM水蒸气发生器半导体

亿科VODM水蒸气发生器

亿科研发的VODM水蒸气发生器可在气体环境中稳定生成百万分之一（ppm）级别的水蒸气，广泛应用于半导体制造、材料科学、医疗设备研发等对湿度控制要求严苛的领域。VODM水蒸气发生器经相变汽化模块将液分散成液膜再换热转化成水蒸气，稳定地将一路液体蒸发。自主研发的相变汽化模块优势：蒸发混合稳定并有非常宽的蒸发范围。

VODM水蒸气发生器可支持客户各种进出口接口形式的定制；可支持远程控制；可支持实时在线数据的读取与保存；设备体积小，轻便，只有传统蒸汽发生器体积的十分之一；设备寿命长，正常使用可达10年及以上，使用过程中无任何耗材需要更换。