等离子清洗机

　　等离子清洗机特点

　　◆7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。

　　◆PLC 控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

　　◆CIF等离子清洗机F系列用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制。

　　◆气体返填吹扫，HEPA 高效过滤，防止二次污染。

　　◆316 不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

　　◆采用 60 度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方 便，界面友好。

　　◆上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。

　　◆内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。

　　◆CIF等离子清洗机F系列处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。

　　◆样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

　　◆安全保护，舱门打开，自动关闭电源。

　　等离子清洗机

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