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三维共聚焦白光干涉仪

三维共聚焦白光干涉仪

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更新日期:2026/9/10 12:21:22

生 产 地:欧洲

产品型号:S neox

简单介绍:3D白光干涉共焦显微镜,集成共聚焦的横向分辨率和白光干涉仪的纵向分辨率,可快速、准确的获取高精度表面三维形貌信息,并进行高精度测量和数据分析。

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相关标签:光学轮廓仪,共焦显微镜,三维形貌仪,白光干涉仪

详细内容

产品简介:

SENSOFAR公司作为干涉共焦显微镜的发明者,开创性地将共聚焦和干涉技术结合在起,设计和制造了S NEOX系列的3D光学干涉共焦显微镜。无需插拔任何硬件就可以在软件内自动实现共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪。客户即拥有共聚焦技术的超高XY轴分辨率,高0.14um,又有干涉技术的亚纳米Z轴分辨率,高可达0.1nm及高达0.1%的测量重复性。

SENSOFAR在1999年创立之初,就是以三维表面形貌测量为主要研发方向,通过持续不断地研发和申请利技术,在全球范围内创造了数百种表面形貌测量应用产品,积累了丰富的技术实力。

新型S NEOX主要技术优势如下:

优势1 第5代干涉共焦显微镜,更加精准易用

新型 S neox 是sensofar公司开发的第5代干涉共焦显微镜,在性能、功能、效率和设计方面远远优于现有的共聚焦显微镜或白光干涉仪。

第5代 S neox 系统的诞生,使得操作更易于使用、直观且更快速。即使是初学者,只需点击下,即可操作测量,可快速切换共焦、白光干涉和相位差干涉测量模式,满足从粗糙表面到平滑表面测量需求。

优势2 利的Microdisplay共焦技术,可实现扫描头内无运动部件

SENSOFAR利设计的Microdisplay共焦技术(微型程控显示扫描共焦技术),做到了扫描头内无运动部件,解决了共聚焦扫描直以来的问题---有部件要高速运动,实现了既能高速扫描,又能避免部件运动造成震动影响精度。

优势3 所未有的扫描速度,数据采集速度高达 180帧/

新型 S neox作为第5代新干涉共焦显微镜,通过采用新的智能和独特的算法以及新型相机(500万像素相机),达到所未有的速度。数据采集速度达 180帧/。标准测量采集速度比以快 5 倍。S neox 成为市场上速度快的表面测量系统。

优势4 测量的可追溯性

每台 S neox 皆为提供准确和可追溯的测量而精心制造。系统使用符合ISO 25178 标准的可追溯标准进行校准,包括:纵向精度、横向尺寸、平面度误差以及偏心度。可键实现ISO25178和ISO4287粗糙度测量,无需复杂的粗糙度参数设置。

优势5 三合的3D测量技术(共聚焦、干涉、多焦面叠加)

Sensofar 的三合3D测量方法—只需点击次,系统即可切换到适合当测量任务的佳技术。在 S neox 传感器头中配置三种3D测量技术:共聚焦测量、干涉测量、Ai 多焦面叠加测量,这些都为系统的多功能性做出了重要贡献,并有助于大限度地减少数据采集中的噪点。S neox 是所有实验室环境的理想之选,适用范围广泛,适合粗糙,到光滑及超光滑表面3D测量。

优势6 Sensofar新利的共焦技术:连续共聚焦扫描技术

针对般共聚焦设备扫描速度慢的问题,Sensofar研发了利技术的连续共聚焦扫描方式,即保证了扫描精度,提高了图像支架,又将扫描速度提高了3倍。

优势7 Sensofar新利的共焦技术:融合共聚焦测量

SENSOFAR还推出了独特的融合共聚焦扫描模式,将共聚焦和多焦面叠加两种模式的优势结合,实现了可测大86度的斜率并具有纳米Z轴精度的三维测量。融合共聚焦能提供更好的测量效果,获取更好的图像质量,同时可获得比共聚焦和多焦面叠加更可靠的数据。

优势8 智能噪音检测—有效提高图像质量,消除噪点

S neox 使用检测算法(SND) 检测那些不可靠的数据像素。与使用空间平均的其他技术相比,S neox 在不损失横向分辨率的情况下逐像素处理。

优势9 高性能软件分析系统Senso View

Senso View是种交互式分析工具,2D 和 3D 的交互式视图提供多种缩放、显示和渲染选项。提供套全面的工具,用于 3D 或2D 测量的初步检查和分析。可以测量关键尺寸、角度、距离、直径,并使用新的注释工具突出显示特征。可实现剖面线上多段高度差测量;可测量剖面线多段高度信息,并实时显示在剖面线测量图上。

光学轮廓仪,共焦显微镜,三维形貌仪,白光干涉仪

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