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半导体等离子清洗机
点击次数:44 发布时间:2023/2/27 9:34:13
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董**
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半导体等离子清洗机
产品优势
(1)数字化控制,显示屏显示,实时监控,抗干扰强;
(2)具有十余种故障报警功能,故障排查定位时间缩短80%以上;
(3)支持RS-485/232数字通信接口和模拟通信接口,强大的远程通信功能;
(4)采用TI品牌的移相全桥软开关电路和PFC功率因素校正,相对模拟硬开关电路效率可提高10%以上,响应时间小于0.1s,抗干扰性强;
(5)军工硬件设计,使用环境温度范围可达到-25℃-50℃,适应不同的严苛场景,MTBF时间可达到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃);
(6)搭载ST品牌的ARM芯片,人机交互简单明了,强大的远程调试通讯功能,无缝对接任意的应用场景,自主研发的软件对实时采集的数据进行智能判断并协调工作,可实现功率自匹配,稳定无变化;
(7)具有6种检测功能:气压检测、主板温度检测、变压器弧压检测、变压器初峰值电流检测,电网电流检测,喷枪转速检测;
(8)等离子发生器同时支持射流喷枪、旋转喷枪及线性宽幅,一键设置,随时变换;
(9)具有过温防护、过载防护、短路、断路、漏电防护、各种误操作保护等防护功能。
产品结构
结构:高压数字电源发生器、等离子发生装置喷枪与控制系统组成。
(1)高压数字电源发生器:
等离子体的产生需要高压激励,本产品采用中频电源进行激励,数字化控制方式,可实现功率自匹配,功率的稳定输出,且输出精度高,输出功率不受气压波动,市网电压波动,喷枪电老化等影响。参数需根据样品实际情况进行调节,以便达到处理效果。
(2)等离子发生装置喷枪:
半导体等离子清洗机搭配高速旋转喷枪:主要处理大面积、形状较复杂的材料,处理面积范围20-80mm,可与原有的生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。
https://www.chem17.com/st308096/product_37406036.html
http://www.zjplasma.cn/Products-37406036.html
原创作者:乐清蓝石电气有限公司

