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TGS 300  TGS 300真空紫外光谱仪

TGS 300 TGS 300真空紫外光谱仪

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更新日期:2026/4/14 11:11:04

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产品型号:TGS 300

简单介绍:产品简介TGS300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场,配合阵列探测器实现真空紫外光谱范围内的一次性全谱采集。安装XY平台上的标准DN100CF法兰接

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详细内容

产品简介

TGS300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场,配合阵列探测器实现真空紫外光谱范围内的一次性全谱采集。安装XY平台上的标准DN100CF法兰接口,可以方便地调整和优化阵列探测器的中心波长和聚焦特性。

技术特点
单片式光学结构确保光通量zui大化,高光学稳定性。
HJY的超环面光栅技术,全光谱范围内优异的消像差能力。
超长的40mm光谱长度,横向滑动CCD测量更宽的光谱,纵向滑动CCD优化成像质量。
光谱覆盖zui低至10nm,10-30nm具有超高分辨率。
支持超高真空度10-9mbar,可接入同步辐射装置。

典型应用
紫外和紫外等离子体光谱分析
紫外光源表征
激光高次谐波研究
EUV光源表征

技术指标

三块标准光栅可选
2105 gr/mm 光谱范围: 9.5 – 32 nm
中心波长: 12nm
450 gr/mm 光谱范围: 10 – 110 nm
中心波长: 15nm
290 gr/mm 光谱范围: 15.5 – 170 nm
中心波长 : 35nm
光学设计 HJY超环面消像差光栅
焦长 300 mm
孔径 f/20
分辨率 低至0.04nm (*)
波长驱动 固定
高真空 10-6 mbar
真空泵法兰 DN40 KF
Slits 嵌入式
阵列探测器法兰 DN100CF
可选项:
狭缝 手控或自动
多光栅切换装置 光栅滑块可装载3块光栅,真空中灵活切换
超高真空 配合DN63CF真空泵法兰可达10-9 mbar超高真空
(*) 使用2105线/mm光栅和10μm狭缝在波长20nm处测量。


附件
前镜腔,配备两块超环面镜,实现光源和单色仪之间的光学匹配
后镜腔,配备两块超环面镜,实现单色仪和样品室之间的光学匹配
样品室,可搭载4块直径不大于25mm的样品
偏振插片
制冷机,zui低至4K
真空泵

TGS,300,,TGS,300真空紫外光谱仪

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