小型等离子清洗机

主要特点

• 采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。

• 可短时间内清洗掉有机污染物。

• 清洗程度可达到分子级。

• 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

• 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。

• 样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。

• 广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

参数

• 电压：AC220V 10A

• 消耗功率：<500W（包括真空泵）

• RF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz

• 腔体：Φ190mm×98mm
  

• 石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm

• 内腔：Φ165mm×55mm

• 清洗电极：Φ120mm

• 样品台：Φ150mm，尺寸Φ140mm

• 样品台与电极间距：15mm-50mm可调

• 抽气管：Φ12mm

• 极限真空度：0.1Pa

• 工作真空度：60Pa-500Pa

• 气路数量：2路（选装）

• 流量控制器数量：1、2

• 流量显示仪：2通道

• 气路接口：Φ6mm

• 加热样品台：Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装）

• 冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa

• 工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m

产品规格

• 　尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）

• 重量：20kg（不含真空泵）

可选配置

• 加热样品台

• 流量控制器（量程10、50、100，多可增加2个通道）