近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉

真空腔体

• 腔体为一高纯石英管

• 尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H

真空法兰

• 真空法兰材质为316不锈钢制作

• 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口

• 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口

• 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr，用分子泵其真空度可达到10-5 torr

• 两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动

• 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可测量腔体内真空度

混气系统

可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）

加热元件和载样台

• 由两组IR红外灯管进行加热

• 额定功率800 W 总功率：1600W

• 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上

• 一个3"的基片载样台安装腔体顶部

• 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀

• 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料
  
  

热电偶

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

温控系统

• 两个控温系统都为PID30段程序化控温

• 可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

工作温度

• 两个加热区域单独工作的高温度： <= 650ºC

• 两个加热区域大温差: <= 350 ºC

加热和冷却速率

• 加热速率: > 8 ºC /S

• 冷却速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC)

电源

208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关）

可选配件

本公司出售真空泵和水冷系统

质保期

一年质保期 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )

CE