PCE-80 8.5英寸等离子清洗机

8.5英寸等离子清洗机

PCE-80是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等）。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

射频功率: 100 W
● 真空泵功率: < 500W
● 总功率: < 600W
● 电源：AC 220V , 50Hz

射频电源：

●射频功率可在 0 - 100W之间调节

●频率: 13.56 MH

●可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验

等离子腔体：

●8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体

●铝制折叠式法兰来进行真空密封

●法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

●此设备屏蔽射频辐射，零射频泄漏

通入气体：

●等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定）

●不能使用易燃qi体及腐蚀性气体。

可选：

●可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片

●可选购2-4通道质子或浮子混气系统

●空气系统模块

控制面板：

●通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.

●仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可地控制进气流量

真空泵（选配）：

●仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵

●极限真空度为50mTorr（参考值，具体请点击）

●真空泵模块

外形尺寸：

620 L ×600 W ×600 H, mm

相关应用：

●请自行根据您的应用测试的等离子功率

●对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在10 - 30W之间

●对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在35 - 80W之间

●可根据要求提供300W高功率射频电源