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扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）

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LIMES150 高精度线形位移台

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价格：￥电议

更新日期：2026/4/13 21:08:15

生产地：

产品型号：LIMES150

简单介绍：德国OWIS公司的LIMES150系列高精度线性位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺顶级黑色电镀。

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相关标签：LIMES150,高精度线形位移台

详细内容

仪器简介：

德国OWIS公司的LIMES150系列高精度线性位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺顶级黑色电镀。

技术参数：

技术参数（无负载，20摄氏度）
步进电机驱动直流伺服电机驱动
行程 100/200/300mm 100/200/300mm
速度/最大 40mm/s 80mm/s
负载/最大 600N 600N
驱动力/最大 170N 60N
螺距 2mm 2mm
重复定位精度/双向 <2um <2um
位置误差 <10um/100mm <10um/100mm
偏转角 <60urad <60urad
俯仰角 <80urad <80urad
垂直偏差 <3um/100mm <3um/100mm
水平偏差 <3um/100mm <3um/100mm
电机电压/最大 40V 23V
保持电压 4.88V
电机电流/最大 1.4A 2.44A
每转步数 200 5000

主要特点：

• 高强度铝合金材质
• 100/300/300mm行程可选，最长可达300mm
• 双向重复定位精度优于2um
• 无空回球形螺杆
• 预紧球形轴承
• 高精度Hall-effect 限位开关

可选项
• 机械限位开关
• 制动刹车
• 光栅尺（精度±3 µm/m 分辨率0.1 µm）

LIMES150,高精度线形位移台