miBot纳米操纵仪

Imina Technologies公司的miBot纳米操纵器，是当今世界上最小巧的商业化纳米操纵系统，是在光学显微镜、扫描电镜和FIB聚焦离子束显微镜上进行微米和纳米尺度研究和开发的通用操纵和测量工具。其技术特点如下：
· miBot移动微机器人是Imina纳米操纵系统的核心部件，采用革命性的系统设计。其移动方式采用笛卡尔自然坐标系统，操纵和控制直观、灵活。
· miBot移动微机器人采用压电陶瓷驱动，具有X/Y/Z/R四个自由度，移动范围达几个厘米，但移动精度可保持在纳米量级。
· miBot移动微机器人不用螺丝固定，在光学显微镜样品台上、在SEM/FIB真空样品室中安装和移出都非常方便，可以在几分钟之内完成。
· miBot移动微机器人具有很高的机械稳定度和热稳定度，抗外界震动干扰能力强。
· Imina提供整体解决方案。可根据不同的应用要求，提供标准或定制的miBot移动微机器人工作平台，并提供相应的测量和控制系统。

miBot纳米操纵系统的主要应用：
· 纳米结构的电学测量和表征
· 纳米结构的力学测量和表征
· 微米、纳米尺度操纵
· 透射电镜、扫描电镜、拉曼和其它分析仪器的样品制备
· 表面科学实验和研究
· 纳米连接技术研发
· 原位纳米尺度样品定位
· 单细胞操纵

miBot纳米操纵系统的主要技术参数：
Degrees of freedom 4 (2 translations and 2 rotations)
Dimensions body: 20.5 x 20.5 x 13.6 mm³; arm: 8.3 mm (without micro-tool)
Weight 12 g (without micro-tool)
Operating range X and Y: typ. 5 cm (limited by cable); R:± 180°; Z: 42° (arm rotation)
Scanning range X: 440 nm; Y: 250 nm; Z: 780 nm
Speed X and Y: < 2.5 mm/s; Z: < 150 mrad/s
Resolution X: 1.0 nm; Y: 0.5 nm; Z: 1.5 nm
Forces and torques X and Y: push: 0.3 N, hold: 0.2 N;
Z: lift: 0.7 Nm (5 g), hold: 0.9 Nm (6 g)
Temperature range 273 K to 353 K
Lowest pressure 10^⁻⁷ mbar
Electrical probing voltage range: ± 100 V; current: < 100 mA; signal resistance: typ. 3.5 Ohm