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Thetametrisis-膜厚测量、薄膜表征工具
ThetametrisisFR系列产品针对测量光学参数、薄膜厚度而开发,产品性能可靠,性能稳定性与可靠性超过绝大部分欧美品牌产品。尤其针对非晶硅(polysilicon)、非化学计量氮化硅、光学性能存在各项异性的复杂薄膜,性能优势显著。
可实现薄膜表征功能:测量光学参数、薄膜厚度
目前有以下产品系列:
FR-Thermal: 薄膜热处理过程中的实时表征工具
FR-Scanner: 自动化超高速jing准薄膜厚度测绘
FR-Mic: 微米级薄膜表征
FR-pOrtable:一款 USB 驱动的薄膜表征工具
ContactProbe-ST: 待测涂层现场测量厚度工具
FR-Education: 用于高校教学实验室的薄膜表征工具
FR-Liquid: 浸入液体中的涂层的现场实测和表征
FR-pRo: 按需搭建的薄膜特性表征工具


