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(自动吸引式)半导体特气检漏仪

(自动吸引式)半导体特气检漏仪

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价格:¥电议

更新日期:2026/9/8 3:52:05

生 产 地:中国大陆

产品型号:XP-703D

简单介绍:型 号 XP-703D
检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm) 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

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详细内容

XP⁻⁷03D(自动吸引式)半导体特气检漏仪

特点:

¬ 最适合于检测半导体特气的微量泄漏。

¬ 采用声光报警。

规格

型 号

XP⁻⁷03D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙、硅烷、氢气等)

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

(单位:ppm)

砷烷 磷烷 乙 硅烷 氢气

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

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