在线气体质谱仪的产品研发资料

在线气体质谱仪
http://www.app17.com/c151680/products/d9608871.html

在线气体质谱仪 HXTOF-50 系列
由新型高效电子轰击离子源与垂直引入式飞行时间质量分析器构成，采用双脉冲加速、双场反射、快信号检测、离子筛除及离子夹断等多项先进技术。
HXTOF-50 系列专注于气体成分定性和定量检测。

应用领域
过程监测
在线分析
污染物研究
环境气体分析
半导体及相关产品
残余气体或泄漏检测

产品特点
- 实时在线分析
- 简洁的真空系统—紧凑可靠
- 高度集成的自动控制系统—保证连续稳定运行
- 工艺及模块化设计—方便维护及更换
- 惰性毛细管直接进样
- 抗干扰能力强

先进的技术
- 高效的数据采集及处理技术
- 微秒级的响应时间
- 多成分同时检测—全谱图分析

性能指标
- 取样压力：104Pa 2×105Pa
- 分辨率：优于800（FWHM）
- 质量范围： 1～500amu
- 检测限：ppm量级
- 动态范围：3个数量级
- 质量精度：优于30ppm
- 电离能：5eV～100eV可调

相关宣传资料下载：http://www.tofms.net/images/EI.PDF

离子传输系统 阶梯引出电场实现离子持续引出 经典静电四极杆控制离子束流方向 经典一维单透镜调制离子束运动状态 离子束夹断技术，延长检测器使用寿命
质量分析及检测系统 垂直引入式飞行时间质量分析器，提高仪器分辨率 双微通道板检测技术，提升检测灵敏度 离子筛除技术，去除载气离子干扰 采集软件界面 采集软件实现全质量谱图及多窗口离子强度谱图实时在线显示
室内空气谱图 典型室内空气谱图，检测到的离子峰包括H 、H2 、C 、N 、O 、OH 、H2O 、Ar2 、N2 、CO 、14N15N 、14N16O 、O2 、16O18O 、Ar 、CO2 等。已检测出大气中平均体积分数为0.033%的二氧化碳的峰（CO2 ），信噪比大于30:1，仪器的直接检测限优于10ppm级，分辨率优于800FWHM。

原创作者：广州禾信仪器股份有限公司